【技术实现步骤摘要】
本申请涉及ldi设备，尤其是一种用于ldi设备的光源参数自动调节方法。
技术介绍
1、光刻设备是集成电路生产所需设备中核心的组成部分，光刻设备通过光线曝光的方式将设计好的集成电路图形印刷至感光材料上，这样的制作工艺在半导体器件、晶圆制造、芯片生产、印刷电路板中有着广泛的应用。ldi(laser direct imaging，激光直接成像)设备主要用于完成对感光材料的曝光工序，ldi技术属于直接成像技术中的一种，其成像质量比传统曝光技术更清晰，因此ldi设备在中高端器件的制造中具有明显优势。
2、在ldi设备的使用过程中，对设定的靶标进行准确的位置定位是必要的操作步骤，靶标位置定位精度直接影响曝光工序的质量。靶标的位置计算基于视觉成像系统和数字图像处理方法来实现，因此视觉成像系统的组成设置及图像处理方法的选择是靶标位置定位精度是否满足要求的关键因素。由于生产过程中设备状态、曝光环境、生产产品等都会存在差异，因此需要对视觉成像系统的设置参数进行对应的调节，选择合适的光源亮度和光源颜色是其中重要的操作项，光源设置是否合理决定了成像效果的好坏，从而影响靶标位置计算。现有ldi设备在使用过程中，往往由操作人员根据经验来手动调试视觉成像系统中的光源，这种方法依赖于人工经验，因此调试准确度较低而且调节效率低、通用性差。
技术实现思路
1、本申请针对上述问题及技术需求，提出了一种用于ldi设备的光源参数自动调节方法，本申请的技术方案如下：
2、一种用于ldi设备的光源参数自
3、利用ldi设备中的相机获取在当前光源参数下的靶标图像，根据靶标图像的图像质量确定适应度值，靶标图像的图像质量越优，得到的适应度值越高；
4、根据当前的适应度值进行下一次迭代操作，直至达到迭代终止条件时输出适应度值最大对应的光源参数作为目标光源参数；
5、控制ldi设备中的光源调节至目标光源参数，完成对ldi设备中的光源的调节。
6、其进一步的技术方案为，光源参数为光源的三通道rgb值，对光源参数的三通道rgb值进行二进制编码，得到对应的二进制序列形式的颜色编码。
7、其进一步的技术方案为，得到的颜色编码包括24个比特位，最低位8个比特位是光源参数的b通道取值对应的二进制序列，中间位8个比特位是光源参数的g通道取值对应的二进制序列，最高位8个比特位是光源参数的r通道取值对应的二进制序列。
8、其进一步的技术方案为，根据当前的适应度值进行下一次迭代操作包括：确定当前各个光源参数对应的颜色编码的适应度值；
9、利用群智能算法选择保留当前适应度值最大的m个颜色编码，m为整数；
10、利用群智能算法按照交叉概率cr从保留的m个颜色编码中随机选择cr*m个颜色编码作为父类编码，对任意两个父类编码进行比特位的交叉重组形成新的颜色编码；
11、利用群智能算法对完成选择和交叉操作的颜色编码进行变异操作并进行下一次迭代操作。
12、其进一步的技术方案为，对任意两个父类编码进行比特位的交叉重组形成新的颜色编码包括对于任意的第一父类编码和第二父类编码：
13、分别将第一父类编码和第二父类编码随机划分为高位段和低位段，第一父类编码的高位段的比特数和第二父类编码的高位段的比特数相等，第一父类编码的低位段的比特数和第二父类编码的低位段的比特数相等；
14、将第一父类编码的高位段和第二父类编码的低位段进行高低位数据拼接形成新的颜色编码，将第二父类编码的高位段和第一父类编码的低位段进行高低位数据拼接形成新的颜色编码。
15、其进一步的技术方案为，利用群智能算法对完成选择和交叉操作的颜色编码进行变异操作包括：
16、按照变异概率mr从完成选择和交叉后保留的k个颜色编码中随机选择mr*k个颜色编码，并随机对选出的每个颜色编码中的若干个比特位进行取反处理形成新的颜色编码。
17、其进一步的技术方案为，根据靶标图像的图像质量确定颜色编码的适应度值包括：
18、计算靶标图像中局部像素点的像素值偏差程度得到靶标图像的清晰度指标，并将靶标图像的清晰度指标作为当前光源参数对应的适应度值。
19、其进一步的技术方案为，计算靶标图像中相邻像素点之间的子清晰度指标与间隔像素点之间的子清晰度指标之和，得到靶标图像中局部像素点的像素值偏差程度作为靶标图像的清晰度指标。
20、其进一步的技术方案为，计算靶标图像中行方向相邻像素点之间的子清晰度指标与行方向间隔像素点之间的子清晰度指标之和，靶标图像的清晰度指标的计算公式为：
21、
22、其中，a1和a2分别为正定参数，i(x,y)是靶标图像中坐标(x,y)处的像素点的像素值，i(x,y-1)是靶标图像中坐标(x,y-1)处的像素点的像素值，i(x+1,y)是靶标图像中坐标(x+1,y)处的像素点的像素值，i(x+2,y)是靶标图像中坐标(x+2,y)处的像素点的像素值，n是靶标图像中包含的像素点的总数。
23、其进一步的技术方案为，正定参数a1+a2＝1。
24、其进一步的技术方案为，光源参数自动调节方法包括：
25、在迭代次数达到迭代次数阈值时，或者存在适应度值达到适应度值阈值时，确定达到迭代终止条件。
26、其进一步的技术方案为，采用的群智能算法是遗传算法、粒子群算法和蚁群算法的任意一种。
27、本申请的有益技术效果是：
28、本申请公开了一种用于ldi设备的光源参数自动调节方法，该方法根据实际靶标图像的图像质量来评价光源参数的适应度，并利用群智能算法来搜索光源参数的最优解，从而可以自动迭代计算并寻找到一组与当前的生产产品和加工环境匹配的光源参数，使得ldi设备的视觉成像系统具有更好的成像效果，该方法自动化程度高、调节效率高，避免了手动调节光源参数准确度低、效率低的问题，且在不同的应用场景中都有较好的通用性。
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1.一种用于LDI设备的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述光源参数自动调节方法包括：
2.根据权利要求1所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述根据当前的适应度值进行下一次迭代操作包括：
3.根据权利要求2所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，利用群智能算法对完成选择和交叉操作的颜色编码进行变异操作，包括：
4.根据权利要求2或3所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述光源参数为光源的三通道RGB值，对每个光源参数的三通道RGB值进行二进制编码，得到对应的二进制序列形式的颜色编码。
5.根据权利要求2或3所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，采用的群智能算法是遗传算法、粒子群算法和蚁群算法的任意一种。
6.根据权利要求1-3任一所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述根据所述靶标图像的图像质量确定适应度值包括：
7.根据权利要求6所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，计算所述靶标图像中相邻像素点之间的子清晰度指标与间隔像素点之间的子清晰度指标之和，得到所述靶标图像中局部像素点的像素值偏差
8.根据权利要求7所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，计算所述靶标图像中行方向相邻像素点之间的子清晰度指标与行方向间隔像素点之间的子清晰度指标之和，计算公式为：
9.根据权利要求8所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述正定参数a1+a2＝1。
10.根据权利要求1-3以及7-9中任一所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述光源参数自动调节方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于ldi设备的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述光源参数自动调节方法包括：
2.根据权利要求1所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述根据当前的适应度值进行下一次迭代操作包括：
3.根据权利要求2所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，利用群智能算法对完成选择和交叉操作的颜色编码进行变异操作，包括：
4.根据权利要求2或3所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，所述光源参数为光源的三通道rgb值，对每个光源参数的三通道rgb值进行二进制编码，得到对应的二进制序列形式的颜色编码。
5.根据权利要求2或3所述的光源参数自动调节方法，其特征在于，采用的群智能算法是遗传算法、粒子群算法和蚁群算法的任意一种。
6.根据权利要求1-3任一所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：于鹏，袁征，
申请(专利权)人：江苏影速集成电路装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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