【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体加工制造，尤其涉及提拉装置、用于拉制单晶硅棒的设备和方法。
技术介绍
1、直拉法(czochralski method，简称cz法)是制备单晶硅棒的主要方法之一。通过直拉法可以连续并高效地生产出具有高电子迁移率、低杂质和减少的晶体缺陷的单晶硅，为半导体设备提供卓越的性能。直拉法的特点在于其连续、稳定的生产流程，确保了材料的一致性和高品质。同时，直拉法能够实现精确的温度和晶向控制，进一步优化晶体质量。直拉法因能够带来长期产出和高品质的单晶硅而在半导体生产中具有显著的经济优势。
2、在直拉法中，对提拉速度的精确控制是确保单晶硅棒质量和特性的关键。提拉速度直接影响晶体结构，不稳定的提拉速度或速度的突变容易引入晶体缺陷，例如位错缺陷，同时也会影响杂质在硅中的分布。此外，恰当的提拉速度有助于保持单晶硅棒的厚度均匀性，这对后续的处理至关重要。
3、在实际生产过程中，诸多因素会致使实际的提拉速度与预定的提拉速度不一致，造成生产出的单晶硅棒的质量也不符合预期要求。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开期望提出提拉装置、用于拉制单晶硅棒的设备和方法。该提拉装置能够监测提拉线缆的变形情况并根据监测结果对实际提拉速度进行调整，使得实际的提拉速度与预定的提拉速度保持一致，从而使拉制出的硅棒的质量符合产品要求。
2、本公开的技术方案是这样实现的：
3、第一方面，本公开提供了一种提拉装置，所述提拉装置包括：
4、提拉线缆，所述提拉线缆的
5、升降机构，所述提拉线缆的另一端固定至所述升降机构，所述升降机构用于通过对所述提拉线缆的收放操作使单晶硅棒沿竖向方向移动；
6、监测机构，所述监测机构配置成用于在拉制单晶硅棒的过程中，获取所述提拉线缆的未被收起部段在长度方向上的变形量；
7、控制机构，所述控制机构配置成用于在拉制单晶硅棒的过程中，根据所述变形量调整所述升降机构对所述提拉线缆的收放操作，以使所述单晶硅棒以预定的速度沿所述竖向方向移动。
8、在一些可选的示例中，所述监测机构包括感测器，所述感测器用于获取表征所述提拉线缆的未被收起部段在长度方向上的应变的感测值。
9、在一些可选的示例中，所述监测机构包括换算器，所述换算器用于根据所述感测值计算所述提拉线缆的未被收起部段在长度方向上的所述变形量。
10、在一些可选的示例中，所述控制机构包括处理器，所述处理器配置成基于所述变形量获取所述升降机构对所述提拉线缆的所述收放操作的调整量。
11、在一些可选的示例中，所述控制机构包括控制器，所述控制器配置成用于根据所述调整量调整所述升降机构的收放操作。
12、在一些可选的示例中，所述监测机构包括感测器，所述感测器用于监测所述提拉线缆的所述未被收起部段上的至少两点在竖向方向上的位置变化。
13、在一些可选的示例中，所述监测机构包括换算器，所述换算器用于根据所述至少两点在竖向方向上的所述位置变化计算所述提拉线缆的所述未被收起部段在所述至少两点中的任意两点之间的长度变化量。
14、在一些可选的示例中，所述控制机构包括处理器，所述处理器配置成基于所述任意两点之间的所述长度变化量获取所述升降机构对所述提拉线缆的所述收放操作的调整量。
15、在一些可选的示例中，所述控制机构包括控制器，所述控制器配置成用于根据所述调整量调整所述升降机构的收放操作。
16、在一些可选的示例中，所述控制器配置成在所述调整量超出预定的阈值时调整所述升降机构的收放操作。
17、在一些可选的示例中，所述感测器设置成随所述至少两点沿竖向方向移动。
18、在一些可选的示例中，所述感测器设置成随所述至少两点进行偏转。
19、第二方面，本公开实施例提供了一种用于拉制单晶硅棒的设备，所述设备包括根据第一方面的提拉装置。
20、第三方面，本公开实施例提供了一种用于拉制单晶硅棒的方法，所述方法通过使用根据第二方面的用于拉制单晶硅棒的设备执行，所述方法包括：
21、在拉制单晶硅棒的过程中，获取提拉线缆的未被收起部段在长度方向上的变形量；
22、在拉制单晶硅棒的过程中，根据所述变形量调整升降机构对所述提拉线缆的收放操作，以使单晶硅棒以预定的速度沿竖向方向移动。
23、本公开实施例提供了一种提拉装置。该提拉装置包括在拉制单晶硅棒的过程中获取提拉线缆的一部分在长度方向上的变形量的监测机构，以及根据由监测机构获取的变形量调整升降机构的控制机构，以使实际的提拉速度与预定的提拉速度保持一致。本公开实施例提供的提拉装置在进行提拉操作的控制时考虑到了因提拉线缆的拉伸变形而造成实际的提拉速度与预定的提拉速度之间的偏差，并且通过获取提拉线缆的拉升变形量来对实际的提拉速度进行调整，使得调整后的实际提拉速度能够与预定的提拉速度保持一致，从而使得拉制的单晶硅棒的质量和特性能够达到要求。
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1.一种提拉装置，其特征在于，所述提拉装置包括：
2.根据权利要求1所述的提拉装置，其特征在于，所述监测机构包括感测器，所述感测器用于获取表征所述提拉线缆的未被收起部段在长度方向上的应变的感测值。
3.根据权利要求2所述的提拉装置，其特征在于，所述监测机构包括换算器，所述换算器用于根据所述感测值计算所述提拉线缆的未被收起部段在长度方向上的所述变形量。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的提拉装置，其特征在于，所述控制机构包括处理器，所述处理器配置成基于所述变形量获取所述升降机构对所述提拉线缆的所述收放操作的调整量。
5.根据权利要求4所述的提拉装置，其特征在于，所述控制机构包括控制器，所述控制器配置成用于根据所述调整量调整所述升降机构的收放操作。
6.根据权利要求1所述的提拉装置，其特征在于，所述监测机构包括感测器，所述感测器用于监测所述提拉线缆的所述未被收起部段上的至少两点在竖向方向上的位置变化。
7.根据权利要求6所述的提拉装置，其特征在于，所述监测机构包括换算器，所述换算器用于根据所述至少两点在竖向方
8.根据权利要求7所述的提拉装置，其特征在于，所述控制机构包括处理器，所述处理器配置成基于所述任意两点之间的所述长度变化量获取所述升降机构对所述提拉线缆的所述收放操作的调整量。
9.根据权利要求8所述的提拉装置，其特征在于，所述控制机构包括控制器，所述控制器配置成用于根据所述调整量调整所述升降机构的收放操作。
10.根据权利要求9所述的提拉装置，其特征在于，所述控制器配置成在所述调整量超出预定的阈值时调整所述升降机构的收放操作。
11.根据权利要求6至10中的任一项所述的提拉装置，其特征在于，所述感测器设置成随所述至少两点沿竖向方向移动。
12.根据权利要求11所述的提拉装置，其特征在于，所述感测器设置成随所述至少两点进行偏转。
13.一种用于拉制单晶硅棒的设备，其特征在于，所述设备包括根据权利要求1至5中的任一项所述的提拉装置。
14.一种用于拉制单晶硅棒的设备，其特征在于，所述设备包括根据权利要求6至12中的任一项所述的提拉装置。
15.一种用于拉制单晶硅棒的方法，其特征在于，所述方法通过使用根据权利要求13所述的用于拉制单晶硅棒的设备执行，其特征在于，所述方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种提拉装置，其特征在于，所述提拉装置包括：
2.根据权利要求1所述的提拉装置，其特征在于，所述监测机构包括感测器，所述感测器用于获取表征所述提拉线缆的未被收起部段在长度方向上的应变的感测值。
3.根据权利要求2所述的提拉装置，其特征在于，所述监测机构包括换算器，所述换算器用于根据所述感测值计算所述提拉线缆的未被收起部段在长度方向上的所述变形量。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的提拉装置，其特征在于，所述控制机构包括处理器，所述处理器配置成基于所述变形量获取所述升降机构对所述提拉线缆的所述收放操作的调整量。
5.根据权利要求4所述的提拉装置，其特征在于，所述控制机构包括控制器，所述控制器配置成用于根据所述调整量调整所述升降机构的收放操作。
6.根据权利要求1所述的提拉装置，其特征在于，所述监测机构包括感测器，所述感测器用于监测所述提拉线缆的所述未被收起部段上的至少两点在竖向方向上的位置变化。
7.根据权利要求6所述的提拉装置，其特征在于，所述监测机构包括换算器，所述换算器用于根据所述至少两点在竖向方向上的所述位置变化计算所述提拉线缆的所述未被收起部段在所述至少两点中的任意两点之间的长度变化量...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘浩，史铁柱，秦浩，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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