【技术实现步骤摘要】
本技术涉及容置基板用的前开式传送盒，特别是针对该传送盒的内肋的准位实施瑕疵检测的装置，尤其是一种前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置。
技术介绍
1、前开式传送盒(front opening unified pod,以下简称foup)是由一盒体的开口上结合可开启及封闭该开口的一前盖组成。所述foup可泛见于半导体制程中，用于容置及载运半导体晶元进行一系列的工序场合被应用，以确保半导体晶元的高精度制程良率；除此之外，所述foup也已经逐渐被推广至用于容置及载运一般的基板(或称载板)，以确保基板的制程良率。所称基板，可包含像是嵌入式多芯片互连桥接(emib)用电路载板或使用abf作为增层材料的电路载板等，这些高阶电路载板的面域相对较传统pcb大，且采用长方形的排版模式呈现，使得高阶电路载板的硬度也相对较传统pcb软；当然，随着需求端客制化的多样性，所述基板也可包含大面域的pcb或其他板状物件。
2、由于基板的面域相对较半导体晶元大，使得基板传送盒与半导体晶元传送盒之间存在盒体内肋构造上的差异；进一步的说，基板传送盒的盒体内壁为了营造出多层式插槽(slot)，必须于盒体内壁形成有多数个内肋，而组成所述内肋构造。所述内肋构造，除了包含该盒体的双侧内壁分层形成的边肋之外，还包含由该盒体底壁中央分层凸伸形成的悬状支撑肋，使双侧的边肋能于各层插槽的双底侧充当容置基板时的导引肋，并且利用悬状支撑肋稳定支撑于基板中央的底部；其中，双侧的边肋和中置的悬状支撑肋位于各层插槽中，是以相等层位高度的方式相互间隔对应的；然而，由于半导体晶元的面域
3、另一方面，由于基板的制程与半导体晶元的制程中，通常都存在温度和湿度等环境因素，因此当使用所述传送盒载运基板或半导体晶元进行制程加工时，该盒体必然会遭受制程温度和湿度的影响，特别是在耐久性地使用一段时间之后，该盒体内的所述边肋和悬状支撑肋较容易发生变形，其中特别是该悬状支撑肋发生变形的几率相对较高；且知，一当所述边肋或悬状支撑肋发生变形后，势必影响各层插槽的空间，而造成基板难以植入各层插槽，亦或基板卡持在插槽内而难以被取出的现象。因此，基板传送盒在基板产线使用一段时间后，必须对盒体内的所述边肋及悬状支撑肋的准位，进行有或无偏位或变形的瑕疵检测；然而，所述瑕疵检测，截至目前，仍仰赖人工方式进行。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的旨在针对所述前开式基板传送盒的盒体，特别是该盒体的多个内肋的总体构造，提供一种利于自动化施行的瑕疵检测装置。
2、本技术一较佳实施例，提供一种前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，用于检测所述基板传送盒的一盒体，该盒体具有一沿着一y轴向开放的开口，且该盒体的所述开口内具有沿着一y轴向延伸并且沿着一z轴向间隔分布的多个层列形式的插槽，多个所述插槽分别由该盒体内的多个内肋间隔形成，多个所述内肋包含沿着一x轴向相对凸伸的双侧边肋和坐落于双侧所述边肋之间并且沿着该y轴向凸伸的一悬状支撑肋；该瑕疵检测装置包括一悬持臂、多个感测元件及一控制单元；该悬持臂配置于一双轴驱动器上，该双轴驱动器能驱动该悬持臂执行该y轴向及该z轴向的双向移动；多个所述感测元件沿该x轴向及y轴向间隔布建于该悬持臂上而形成该悬持臂上的一悬持式的检测面域；该控制单元内建有多个所述内肋的一轮廓标准值，并且电连接于该双轴驱动器和多个所述感测元件之间；该控制单元能驱动该双轴驱动器而使该悬持臂植入于各层所述插槽内，驱使该检测面域上的多个所述感测元件能逐层检知多个所述边肋和该悬状支撑肋各自的一准位，该控制单元并比对每一该准位和该轮廓标准值而取得一瑕疵检测结果；其中，该轮廓标准值包含各层所述插槽的多个边肋和该悬状支撑肋坐落在该x轴向、该y轴向及该z轴向的标准位置，该检测面域沿该y轴向逐层执行多个所述边肋和至少一所述悬状支撑肋的一测距移动，该检测面域还沿该z轴向逐层执行一换层式移动，其中在该测距移动及该换层式移动的过程中，多个所述感测元件排除接触多个所述内肋，且所述准位包含多个所述边肋的准位、该悬状支撑肋的准位以及所述边肋和该悬状支撑肋之间的准位。
3、在进一步实施中，该内肋瑕疵检测装置还包含配置该双轴驱动器的一机台，该机台还设有提供该盒体摆放至固定的一台面，且该控制单元配置于该机台上。其中，该双轴驱动器包含有：沿所述y轴向固置于该机台上的一对滑轨，传动连结于该对滑轨上执行所述y轴向移动的一滑台，以及传动连结于该滑台上执行所述z轴向移动的一滑座，且该悬持臂沿所述y轴向架置于该滑座进而配置于该双轴驱动器上，用以带动该悬持臂上的多个所述感测元件同步执行该测距移动及该换层式移动。
4、在进一步实施中，多个所述感测元件包含沿所述x轴向间隔配置的一对边肋测距元件及一对支撑肋照射元件。其中，该悬持臂具有沿所述x轴向相互间隔的两个臂部，多个所述感测元件分散地布建于两个所述臂部上而形成该检测面域；各层所述插槽于所述x轴向区分成坐落于每一该悬状支撑肋双侧的两个槽部，每一该边肋测距元件和每一该支撑肋照射元件间隔配置于每一该臂部上，用以植入每一该槽部内执行所述测距移动。依此，能更进一步地实施下述内容：
5、所述测距移动为该检测面域以沿着所述y轴向持续移动方式或多个定点的步进移动方式，驱使该对边肋测距元件能在所述x轴向对每一该边肋投照及接收一测距光线，用以检知每一该边肋的准位。
6、每一该边肋沿所述z轴向凸伸形成有至少一丘部，所述测距移动为该检测面域以沿着所述y轴向持续移动方式或多个定点的步进移动方式，驱使该对边肋测距元件能在所述x轴向投照及接收一测距光线，用以检知每一该边肋、每一该丘部的至少其中之一的准位。更进一步的，该对边肋测距元件分别在所述x轴向搭载一三棱镜，每一该三棱镜能反射每一该对边肋测距元件在所述x轴向投照及回收的测距光线成为所述z轴向的测距光线，每一该边肋、每一该丘部的至少其中之一接受所述z轴向的测距光线的投照而检知各自的所述准位。
7、每一该边肋沿所述y轴向延伸或间隔分布形成，所述测距移动为该检测面域以沿着所述y轴向持续移动方式或多个定点的步进移动方式，驱使该对边肋测距元件能在所述测距移动过程中朝着所述x轴向对每一该边肋投照及接收一测距光线，用以检知每一该边肋的准位。
8、该对支撑肋照射元件能在所述x轴向相互投射一对照式光线，每一该悬状支撑肋接受该对照式光线的投照而检知准位。
9、每一该悬状支撑肋沿所述z轴向形成一弧凸部，该对支撑肋照射元件能在所述x轴向相互投射一对照式光线，用以检知每一该边肋、每一该丘部的至少其中之一的准位。
10、所述边肋和该悬状支撑肋之间的准位，由该对边肋测距元件检知每一该边肋的准位以及由该对支撑肋照射元件检知每一该支撑肋的准位之后，经由该控制单元相互比对得知。
11、此外，在进一步实施中，每一该端肋的端侧分别形成有本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，用于检测所述基板传送盒的一盒体，该盒体具有一沿着一Y轴向开放的开口，且该盒体的所述开口内具有沿着一Y轴向延伸并且沿着一Z轴向间隔分布的多个层列形式的插槽，多个所述插槽分别由该盒体内的多个内肋间隔形成，多个所述内肋包含沿着一X轴向相对凸伸的双侧边肋和坐落于双侧所述边肋之间并且沿着该Y轴向凸伸的一悬状支撑肋，该瑕疵检测装置包括：
2.如权利要求1所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，还包含配置该双轴驱动器的一机台，该机台还设有提供该盒体摆放至固定的一台面，而使该盒体的所述开口沿着所述Y轴向开放。
3.如权利要求2所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，该双轴驱动器包含有：沿所述Y轴向固置于该机台上的一对滑轨，传动连结于该对滑轨上执行所述Y轴向移动的一滑台，以及传动连结于该滑台上执行所述Z轴向移动的一滑座，且该悬持臂沿所述Y轴向架置于该滑座进而配置于该双轴驱动器上。
4.如权利要求1所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，多个所述感测元件包含沿所述X轴向间隔配置的
5.如权利要求4所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，该悬持臂具有沿所述X轴向相互间隔的两个臂部，多个所述感测元件分散地布建于两个所述臂部上而形成该检测面域。
6.如权利要求5所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，各层所述插槽于所述X轴向区分成坐落于每一该悬状支撑肋双侧的两个槽部，每一该边肋测距元件和每一该支撑肋照射元件间隔配置于每一该臂部上。
7.如权利要求4或6所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，每一该边肋沿所述Z轴向凸伸形成有至少一丘部，该对边肋测距元件为能够在所述X轴向检知每一该边肋、每一该丘部的至少其中之一的准位。
8.如权利要求7所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，该对边肋测距元件分别在所述X轴向搭载一三棱镜，用以检知每一该边肋、每一该丘部的至少其中之一的所述准位。
9.如权利要求8所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，该三棱镜沿着所述Z轴向而坐落于每一该边肋、每一该丘部的至少其中之一的上方。
10.如权利要求4或6所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，每一该边肋沿所述Y轴向延伸或间隔分布形成。
11.如权利要求4或6所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，每一该悬状支撑肋沿所述Z轴向形成一弧凸部，该对支撑肋照射元件能够沿着所述X轴向检知每一该边肋、每一该丘部的至少其中之一的准位。
12.如权利要求6所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，每一该端肋的端侧分别形成有一端壁，多个所述感测元件还包含沿所述X轴向配置用以检知所述端壁的一对端壁测距元件，每一该端壁测距元件配置于每一该臂部上，该检测面域由该对边肋测距元件、该对支撑肋照射元件及该对端壁测距元件相互间隔形成，用以使该对端壁测距元件跟随每一该臂部植入每一该槽部内执行所述测距移动。
13.如权利要求4或12所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，该检测面域的每一该感测元件在所述Z轴向保有的一投光位差。
...【技术特征摘要】
1.一种前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，用于检测所述基板传送盒的一盒体，该盒体具有一沿着一y轴向开放的开口，且该盒体的所述开口内具有沿着一y轴向延伸并且沿着一z轴向间隔分布的多个层列形式的插槽，多个所述插槽分别由该盒体内的多个内肋间隔形成，多个所述内肋包含沿着一x轴向相对凸伸的双侧边肋和坐落于双侧所述边肋之间并且沿着该y轴向凸伸的一悬状支撑肋，该瑕疵检测装置包括：
2.如权利要求1所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，还包含配置该双轴驱动器的一机台，该机台还设有提供该盒体摆放至固定的一台面，而使该盒体的所述开口沿着所述y轴向开放。
3.如权利要求2所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，该双轴驱动器包含有：沿所述y轴向固置于该机台上的一对滑轨，传动连结于该对滑轨上执行所述y轴向移动的一滑台，以及传动连结于该滑台上执行所述z轴向移动的一滑座，且该悬持臂沿所述y轴向架置于该滑座进而配置于该双轴驱动器上。
4.如权利要求1所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，多个所述感测元件包含沿所述x轴向间隔配置的一对边肋测距元件及一对支撑肋照射元件。
5.如权利要求4所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，该悬持臂具有沿所述x轴向相互间隔的两个臂部，多个所述感测元件分散地布建于两个所述臂部上而形成该检测面域。
6.如权利要求5所述的前开式基板传送盒的内肋瑕疵检测装置，其特征在于，各层所述插槽于所述x轴向区分成坐落于每一该悬状支撑肋双侧的两个槽部，每一该边肋测距元件和每一该支撑肋照射元件间隔配置于每一该臂部上。...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶步章，陈俞铭，
申请(专利权)人：科峤工业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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