物料传送盒的清洁成果检测方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种物料传送盒的清洁成果检测方法，实施于物料传送盒的一清洁加工区站，针对清洁后的物料传送盒或其盒体，执行包括湿度及落尘量在内的清洁成果检测；其中，该盒体的清洁成果检测系在该清洁加工区站中具有负压环境的一干燥腔室进行，该物料传送盒的清洁成果检测系在该清洁加工区站提供的一平台进行；此外，本发明专利技术还包含实施上述方法的清洁成果检测装置，用以管制物料传送盒执行自动清洁后的成果暨合格率。后的成果暨合格率。后的成果暨合格率。

【技术实现步骤摘要】
物料传送盒的清洁成果检测方法及其装置


[0001]本专利技术涉及在不同加工区站之间装填及移载物料用的传送盒，还涉及该传送盒在完成湿清洁的后包含湿度及落尘量在内的清洁成果检测技术，尤其是一种物料传送盒的清洁成果检测方法及其装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，最接近本专利技术的物料传送盒的，是一种用于载运半导体晶元的前开式晶元传送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP，以下简称晶元传送盒)。
[0003]半导体晶元在产制过程中，特别是在各个加工区站内，以及在各个加工区站之间载运晶元的过程中，对于洁净度的要求甚高，特别是避免环境中出现落尘微粒，而影响晶元的产制合格率。
[0004]且知，半导体晶元的载运，常见使用上述晶元传送盒，通过自动化搬运系统的运作，使多个晶元传送盒能分别在各个加工区站中撷取、容置晶元，并且能在各个加工区站之间移送晶元，而后在到达目标地的加工区站时卸载晶元。
[0005]晶元传送盒是由一可开启式的前盖和一盒体相互组扣而成，该盒体内部的双侧壁面上具有凸伸成梳状的肋片，用于支撑容置于内的晶元，使得每一晶元传送盒内都可容置多数片晶元。
[0006]基于洁净度的高标准要求，晶元传送盒在使用一段特定时间的后必须要进行自动化清洁。目前，已知的对晶元传送盒进行自动化清洁的较先进技术，可见于CN102804332B、TW201400202A(中国台湾专利)、CN1082222A、US20140069467A1等专利，所述的这些专利公开教示于晶元的生产线中设置一清洁区站，并且利用自动化搬运系统将待清洗的晶元传送盒移送至该清洁区站的一装载端口(load port)上，利用清洁区站内的自动手臂(robot)撷取装载端口上的晶元传送盒，并将晶元传送盒的前盖和盒体先行分离，而后自动撷取该前盖和该盒体依序通过清洗液的湿清洗、干燥等步骤，以净化可能残留于该前盖和该盒体的内、外表面的微粒，进而提升无尘传送的洁净度。
[0007]且知，无尘传送晶元用的晶元传送盒，目前已经被应用至无尘传送高阶电路载板的场合，例如像崁入式多晶片互连桥接(Embedded Multi
‑
Die Interconnect Bridge,EMIB)用电路载板或使用ABF作为增层材料的电路载板等，这些高阶电路载板的面域相对较传统PCB大，且采长方形的排版模式呈现，使得高阶电路载板的硬度也相对较传统PCB软。依此，当传送盒内的容置物必须由晶元变更成是高阶电路载板时，必须改变传送盒的内部构造，才能使每一个传送盒内能够稳定的容置多片高阶电路载板。
[0008]请参阅图1、图2及图3，揭示现有用于容置所述高阶电路载板16(以下简称载板16)的物料传送盒10的态样，其盒体11及前盖12具有晶元传送盒的相同特征，特别包括该盒体11的双侧壁面11a上具有凸伸成梳状的肋片13。此外，基于作为容置物的载板16的面域相对较大且较软，因此该盒体11内还必须形成由底部11b凸伸至容置腔14的悬状支撑杆15，以便利用双侧肋片13来支撑载板16的双端16a，并且利用悬状支撑杆15来架持载板16之中段部
16b，避免载板16在物料传送盒10内发生塌陷或相互干涉的现象(详如图1、图2及图3所示)。
[0009]由此可知，基于不同容置物的差异，会影响传送盒的盒体内部构造的复杂度，特别是，装载载板16用的物料传送盒10，其盒体11内部具有梳状肋片13和悬状支撑杆15的整体构造相对较晶元传送盒的盒体构造复杂。然而，本专利技术所针对的物料传送盒，除了包含上述晶元传送盒之外，也包含装载载板用的物料传送盒10。
[0010]上述这些物料传送盒在执行上述清洁技术之后，为能确保盒内残留的水分子能被充分去除，而达到理想的干燥效果，并且避免欲装载的晶元或载板遭受湿气影响，通常需要进行该清洁后的物料传送盒或其盒体的湿度检测；对此，CN102804332B专利中有概念性的教示在对前盖及盒体湿清洗的后于具有负压的腔室环境的干燥工序中，可以使用湿度传感器监测干燥过程和结束点；然而，CN102804332B专利却未进一步教示该湿度传感器如何在干燥腔室或其他位置对已清洗和干燥后的传送盒进行湿度监测；对此缺憾，本专利技术乃进一步地提出具体的技术，以克服该缺憾。

技术实现思路

[0011]本专利技术的目的，旨在改进现有晶元或载板等物料的传送盒，在进行自动清洁后能接序执行清洁成果的检测，所述的清洁成果包含湿度及落尘量检测。
[0012]为此，本专利技术特别将清洁成果检测技术融入物料传送盒的清洁加工区站中，以确保通过清洁后的物料传送盒，自清洁加工区站对外输出时，该物料传送盒四周的内表面的湿度及落尘量，或其盒体四周的内、外表面的湿度及落尘量，都能达到理想的干燥度及洁净度要求，以利于品管清洁成果。
[0013]为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：
[0014]一种物料传送盒的清洁成果检测方法，实施于一清洁加工区站中，其特征在于，该清洁加工区站能依序执行包括下列清洁物料传送盒的步骤(1)至步骤(4)：
[0015]步骤(1)，分离清洁前的物料传送盒成为一前盖及一盒体；
[0016]步骤(2)，湿清洗该前盖及该盒体；
[0017]步骤(3)，干燥该前盖及该盒体，其中至少该盒体在真空环境下进行干燥，所述真空环境由该清洁加工区站中的至少一干燥腔室内生成负压而形成；及
[0018]步骤(4)，结合该前盖及该盒体，成为清洁后的物料传送盒；
[0019]其中，所述清洁成果的检测方法，包括执行下列工序(3
‑
1)至工序(3
‑
4)：
[0020]工序(3
‑
1)，选定能生成真空的该干燥腔室作为检测场所，并以该干燥腔室内完成干燥的该前盖、该盒体的至少其中之一作为检测物件；
[0021]工序(3
‑
2)，导入洁净的干燥空气进入该干燥腔室内解除真空，并于该干燥腔室内生成一正压干燥空气接触该检测物件四周的内表面及外表面，令正压干燥空气吸收干燥后残留于该检测物件四周的内表面及外表面的至少一清洁成果判断因子；
[0022]工序(3
‑
3)，撷取该干燥腔室内的正压干燥空气；及
[0023]工序(3
‑
4)，使用至少一检测元件检知该正压干燥空气中的所述清洁成果判断因子的含量。
[0024]所述物料传送盒的清洁成果检测方法，其中，湿清洗和干燥该前盖及该盒体之间，还包含对该前盖及该盒体进行除液的步骤。
[0025]所述物料传送盒的清洁成果检测方法，其中，所述检测元件为一湿度传感器，所述清洁成果判断因子为该正压干燥空气所吸收的水分子。
[0026]所述物料传送盒的清洁成果检测方法，其中，所述检测元件为一微粒子计数器，所述清洁成果判断因子为该正压干燥空气所吸收的落尘微粒。
[0027]所述物料传送盒的清洁成果检测方法，其中，该检测物件为该盒体，该盒体的底部凸伸有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料传送盒的清洁成果检测方法，实施于一清洁加工区站中，其特征在于，该清洁加工区站能依序执行包括下列清洁物料传送盒的步骤(1)至步骤(4)：步骤(1)，分离清洁前的物料传送盒成为一前盖及一盒体；步骤(2)，湿清洗该前盖及该盒体；步骤(3)，干燥该前盖及该盒体，其中至少该盒体在真空环境下进行干燥，所述真空环境由该清洁加工区站中的至少一干燥腔室内生成负压而形成；及步骤(4)，结合该前盖及该盒体，成为清洁后的物料传送盒；其中，所述清洁成果的检测方法，包括执行下列工序(3
‑
1)至工序(3
‑
4)：工序(3
‑
1)，选定能生成真空的该干燥腔室作为检测场所，并以该干燥腔室内完成干燥的该前盖、该盒体的至少其中之一作为检测物件；工序(3
‑
2)，导入洁净的干燥空气进入该干燥腔室内解除真空，并于该干燥腔室内生成一正压干燥空气接触该检测物件四周的内表面及外表面，令正压干燥空气吸收干燥后残留于该检测物件四周的内表面及外表面的至少一清洁成果判断因子；工序(3
‑
3)，撷取该干燥腔室内的正压干燥空气；及工序(3
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4)，使用至少一检测元件检知该正压干燥空气中的所述清洁成果判断因子的含量。2.如权利要求1所述物料传送盒的清洁成果检测方法，其特征在于：所述检测元件为一湿度传感器，所述清洁成果判断因子为该正压干燥空气所吸收的水分子。3.如权利要求1所述物料传送盒的清洁成果检测方法，其特征在于：所述检测元件为一微粒子计数器，所述清洁成果判断因子为该正压干燥空气所吸收的落尘微粒。4.如权利要求1、2或3所述物料传送盒的清洁成果检测方法，其特征在于：该检测物件为该盒体，该盒体的底部凸伸有至少一悬状支撑杆，该检测物件四周的内表面包含该悬状支撑杆的四周表面。5.一种物料传送盒的清洁成果检测装置，设置于物料传送盒的一清洁加工区站中，该物料传送盒能在该清洁加工区站中分离成一前盖及一盒体，该前盖、该盒体并能各自或一起接受该加工区站中多个腔室的清洁加工，而后结合成清洁后的物料传送盒，其特征在于，该清洁加工区站配置包括：至少一清洗腔室，设有多个能喷撒清洗液的喷液嘴，对该前盖、该盒体进行湿清洗；至少一干燥腔室，设有一负压通道及多个热能元件，该负压通道连通于至少一所述干燥腔室和一抽气泵之间，用以撷取至少一所述干燥腔室内的空气而生成真空环境，多个所述热能元件能对该前盖、该盒体进行干燥；其中，该检测装置系以该前盖、该盒体的至少其中之一作为检测物件，该检测装置安装于至少一所述干燥腔室，包括：一进气孔，设于至少一所述干燥腔室的一侧并且连接一供气机，该进气孔能导引洁净的干燥空气进入至少一所述干燥腔室内解除真空，并生成能接触该检测物件四周的内表面及外表面的正压干燥空气，用以吸收干燥后残留于该检测物件上的至少一清洁成果判断因子；一正压通道，由一多通管连接至少一所述干燥腔室而建构形成，用以排放至少一所述干燥腔室内的正压干燥空气；及
至少一检测元件，安装于该多通管上，用以检知正压干燥空气...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶步章，林经渊，
申请(专利权)人：科峤工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：