下载物料传送盒的清洁成果检测方法及其装置的技术资料

文档序号:35585890

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本发明提供一种物料传送盒的清洁成果检测方法,实施于物料传送盒的一清洁加工区站,针对清洁后的物料传送盒或其盒体,执行包括湿度及落尘量在内的清洁成果检测;其中,该盒体的清洁成果检测系在该清洁加工区站中具有负压环境的一干燥腔室进行,该物料传送盒的...
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