【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅酸甲酯，具体为一种杂质离子去除装置。
技术介绍
1、硅酸四甲酯为无色透明液体。有特殊气味。有水分存在时不稳定，在空气中能逐渐分解出氧化硅。能与有机溶剂任意混溶，不溶于水。易燃。有毒。有腐蚀性。是危险化学品之一。
2、根据申请号为cn201910183201.2的专利文献所提供的一种正硅酸乙酯的提纯方法，该方法包括将待提纯的正硅酸乙酯原料在160-170℃、常压条件下进行加热蒸馏，将所得液态馏分在70-80℃、真空度≤95kpa的条件下进行减压蒸馏，再将所得气态馏分进行液化处理，之后将液化处理产物在20-40℃、常压条件下依次进行第一树脂吸附和第二树脂吸附，所述第一树脂吸附所采用的第一吸附树脂是功能基团为氢离子的甲基丙烯酸甲酯，所述第二树脂吸附所采用的第二吸附树脂是功能基团为氢氧根离子的聚甲基丙烯酸酯。采用本专利技术提供的方法对正硅酸乙酯进行提纯，其成品的纯度可以从6n级(99.9999％)提高到7n级(99.99999％)，甚至更高级别，从而满足半导体制造工艺中对材料更高的要求。
3、上述专利中的正硅...
【技术保护点】
1.一种杂质离子去除装置，包括传输管(1)，所述传输管(1)内壁设置有用于对硅酸甲酯引导的引流组件，其特征在于：所述引流组件包括有设置在传输管(1)内部的多个斜板(2)，多个所述斜板(2)外壁设置有多个导流槽(201)，所述传输管(1)内壁设置有多个漏板(3)，多个所述漏板(3)内壁均设置有多个漏孔(301)。
2.根据权利要求1所述的一种杂质离子去除装置，其特征在于：所述传输管(1)外壁设置有固定框(4)，所述固定框(4)外壁一侧设置有震动电机(5)。
3.根据权利要求1所述的一种杂质离子去除装置，其特征在于：多个所述斜板(2)均与传输管(1...
【技术特征摘要】
1.一种杂质离子去除装置，包括传输管(1)，所述传输管(1)内壁设置有用于对硅酸甲酯引导的引流组件，其特征在于：所述引流组件包括有设置在传输管(1)内部的多个斜板(2)，多个所述斜板(2)外壁设置有多个导流槽(201)，所述传输管(1)内壁设置有多个漏板(3)，多个所述漏板(3)内壁均设置有多个漏孔(301)。
2.根据权利要求1所述的一种杂质离子去除装置，其特征在于：所述传输管(1)外壁设置有固定框(4)，所述固定框(4)外壁一侧设置有震动电机(5)。
3.根据权利要求1所述的一种杂质离子去除装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵燕，沈俊，朱新华，
申请(专利权)人：宁夏胜蓝化工环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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