【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜设备，具体涉及一种镀膜设备的桨体连接结构及镀膜设备。
技术介绍
1、在太阳能电池制造工艺中，通常需要利用化学气相沉积各种薄膜，而化学气相沉积工艺需要使用相应的镀膜设备。例如，可以利用低压化学气相沉积(low pressurechemical vapor deposition，lpcvd)镀膜设备进行化学气相沉积氧化硅和氮化硅，也可以用来制造掺杂薄膜，以改变硅的导电性等。
2、现有技术中，镀膜设备内部通常设置有用于固定桨体的连接块，桨体卡入连接块的相应安装槽内并通过销钉固定在连接块上，然后将装载有太阳能电池的石英舟支撑放置在桨体上，以进行太阳能电池化学气相沉积工艺镀膜。由于现有技术的镀膜设备的连接块与销钉均采用碳化硅材质，在化学气相沉积工艺的影响下，会产生大量的硅粉附着在连接块与销钉的间隙中，并在高温作用下发生凝固现象，使连接块、销钉与桨体紧紧凝固成一个整体，在更换桨体时，只能选择敲碎销钉，会对连接块及桨体造成严重损坏，甚至断桨，不方便桨体的更换，且桨体维修更换成本高。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种镀膜设备的桨体连接结构，旨在解决现有技术存在镀膜设备的连接块与销钉易与桨体凝固，不方便桨体更换，且桨体维修更换成本高的问题。
2、本专利技术是这样实现的，提供一种镀膜设备的桨体连接结构，包括：
3、连接块，所述连接块为石英材质，所述连接块设有与桨体相配合的安装槽、及与所述安装槽连通且相对设置的第一固定孔和第二固定孔；以及
...【技术保护点】
1.一种镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述连接块的结构关于其中心轴线对称设置，所述连接块的两端分别设有一个所述安装槽、一个所述第一固定孔及一个所述第二固定孔，每个所述销钉穿过对应所述第一固定孔、对应所述桨体及对应所述第二固定孔，以将对应所述桨体固定于所述连接块上。
3.根据权利要求1所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述销钉包括销钉主体及与所述销钉主体顶部连接的销钉帽，所述销钉主体的直径与所述第一固定孔及所述第二固定孔的孔径相适配。
4.根据权利要求1所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述第一固定孔和所述第二固定孔为通孔。
5.根据权利要求3所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述销钉主体的侧面开设有起拔槽，所述桨体对应所述起拔槽的位置设置有窗口。
6.根据权利要求5所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述起拔槽为方形槽，所述方形槽的长度为1～10mm，宽度为1～10mm。
7.根据权利要求6所述的镀膜设备的
8.根据权利要求5所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述销钉帽和/或所述销钉主体的靠近所述销钉帽的位置开设有拔出孔。
9.根据权利要求8所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述拔出孔为圆形通孔，所述圆形通孔的直径为1～5mm。
10.根据权利要求9所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述圆形通孔的直径为2mm。
11.根据权利要求1所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述石英材质为乳石英。
12.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至11任意一项所述的镀膜设备的桨体连接结构。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述连接块的结构关于其中心轴线对称设置，所述连接块的两端分别设有一个所述安装槽、一个所述第一固定孔及一个所述第二固定孔，每个所述销钉穿过对应所述第一固定孔、对应所述桨体及对应所述第二固定孔，以将对应所述桨体固定于所述连接块上。
3.根据权利要求1所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述销钉包括销钉主体及与所述销钉主体顶部连接的销钉帽，所述销钉主体的直径与所述第一固定孔及所述第二固定孔的孔径相适配。
4.根据权利要求1所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述第一固定孔和所述第二固定孔为通孔。
5.根据权利要求3所述的镀膜设备的桨体连接结构，其特征在于，所述销钉主体的侧面开设有起拔槽，所述桨体对应所述起拔槽的位置设置有窗口。
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【专利技术属性】
技术研发人员：符竞帆，梁跃，王永谦，陈刚，
申请(专利权)人：浙江爱旭太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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