一种具有微型加热器的薄膜吸气剂结构及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种具有微型加热器的薄膜吸气剂结构及其制造方法，包括：在基板的第一主面一侧形成有一个或两个以上热子以及在所述热子表面形成有吸气剂薄膜，其中，所述热子包括：第一绝缘薄膜，在第一绝缘薄膜上表面形成的薄膜电阻，以及覆盖所述薄膜电阻的第二绝缘薄膜；所述基板和所述第一绝缘薄膜中形成有贯穿所述基板和所述第一绝缘薄膜的导电柱，所述薄膜电阻的两端与所述导电柱连接，所述基板的第二主面形成有与所述导电柱连接的电极，以将所述薄膜电阻电性引出。所述基板的所述第一主面一侧具有多孔结构，所述热子的承载所述吸气剂薄膜的部分位于所述多孔结构上方，所述热子的承载所述吸气剂薄膜的部分通过连接部支撑于所述多孔结构周围的主面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于mems器件设计和制造领域，特别是涉及一种具有微型加热器的薄膜吸气剂结构及其制造方法。

技术介绍

1、有些半导体器件，特别是有些微机电系统(mems：micro electro mechanicalsystems)器件，需要封装在真空环境下工作。例如，具有高速震动部件的mems加速度传感器、陀螺仪、真空计，需要把震动部分封装在比较稳定的真空中。再例如，需要有真空腔的mems压力传感器，也需要真空腔内有较高的真空度，且其真空度保持稳定。一些红外传感器，同样需要把器件封装在较高真空度的真空腔内。

2、在大部分的封装中，实现较高真空的封装本身就具有挑战性，因为，在封装过程中，经常会有一些残留气体滞留在真空腔内。为此，常常需要在真空腔内封入吸气剂，在封装的同时激活吸气剂，或者待封装完成后再激活吸气剂，把真空腔内的残留气体吸收掉，实现满足器件工作所需要的较高的真空度。吸气剂(getter)，也叫消气剂，在真空科技领域中，是指能够有效吸附和固定某些或某种气体分子的材料。

3、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有微型加热器的薄膜吸气剂结构，包括：

2.如权利要求1所述的微型加热器的薄膜吸气剂结构，其中，

3.如权利要求1所述的微型加热器的薄膜吸气剂结构，其中，

4.如权利要求1所述的微型加热器的薄膜吸气剂结构，其中，

5.如权利要求1所述的微型加热器的薄膜吸气剂结构，其中，

6.一种具有微型加热器的薄膜吸气剂结构的制造方法，包括：

7.如权利要求6所述的具有微型加热器的薄膜吸气剂结构的制造方法，其中，

8.如权利要求6所述的具有微型加热器的薄膜吸气剂结构的制造方法，其中，

<p>9.如权利要求8...

【技术特征摘要】

1.一种具有微型加热器的薄膜吸气剂结构，包括：

2.如权利要求1所述的微型加热器的薄膜吸气剂结构，其中，

3.如权利要求1所述的微型加热器的薄膜吸气剂结构，其中，

4.如权利要求1所述的微型加热器的薄膜吸气剂结构，其中，

5.如权利要求1所述的微型加热器的薄膜吸气剂结构，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：季宇成，王诗男，陈朔，郭松，冯刘昊东，彭鑫林，许杨，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：