一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备制造技术

本发明专利技术公开了一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备，包括：基座；液体盒，设于基座，液体盒设有至少四个并用于存放化学刻蚀用的液体；驱动机构，设于基座的上端，驱动机构用于连接谐振子并带动谐振子伸入或取出液体盒；刻蚀轨迹实现机构，设于驱动机构，谐振子通过刻蚀轨迹实现机构连接于驱动机构，刻蚀轨迹实现机构用于带动谐振子在液体盒内按照预设轨迹运动；控制系统，信号连接于驱动机构与刻蚀轨迹实现机构，并用于控制驱动机构与刻蚀轨迹实现机构的开闭。本申请提供的一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备，能够在谐振子的刻蚀过程中达到精确控制谐振子的运动轨迹以及在各个液体中的停留时间及其顺序的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及谐振陀螺的精密制造，更具体地说，涉及一种用于谐振子化学刻蚀的机构。此外，本专利技术还涉及一种包括上述机构的自动化化学刻蚀设备。

技术介绍

1、半球谐振陀螺是一种新型惯性级固体波动陀螺，属于一种新型陀螺仪，它具有精度高、体积小、抗冲击能力强、寿命长和可靠性高的独特优点，在军民应用中都具有明显的优势。

2、按结构划分，半球谐振陀螺可分为三件套结构和两件套结构，三件套结构包括激励罩(激励器)、谐振子和信号读出基座(拾振器)；两件套结构是将三阶套结构的激励罩和信号读出基座合成一个器件，其信号激励读出基座(电极基座)，因此，只包括谐振子和电极基座两个核心部件。

3、不管哪种结构，加工制造出高品质因数的谐振子对提升谐振陀螺的整体性能具有重要的意义。在加工制造出高品质因数谐振子的过程中，有一个不同于普通机械零件加工的重要工序环节，即化学刻蚀。

4、目前，化学刻蚀的常见操作是通过夹具夹持谐振子置入盛有一定浓度氢氟酸的器皿中，手持夹具以一定速率的运动速度使谐振子在氢氟酸溶液中搅动，从而实现氢氟酸等化学刻蚀液体对谐振子表面的化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于谐振子化学刻蚀的机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于谐振子化学刻蚀的机构，其特征在于，所述驱动机构包括X轴平动机构(4)、Y轴平动机构(5)与Z轴平动机构(6)，所述Z轴平动机构(6)设于所述Y轴平动机构(5)，所述Y轴平动机构(5)设于所述X轴平动机构(4)，所述刻蚀轨迹实现机构(3)设于所述Z轴平动机构(6)。

3.根据权利要求2所述的用于谐振子化学刻蚀的机构，其特征在于，所述X轴平动机构(4)、所述Y轴平动机构(5)与所述Z轴平动机构(6)均包括：步进电机(7)、联轴器(8)、轴承座(9)、滚珠丝杠(11)、滑轨底板(12)与丝...

【技术特征摘要】

1.一种用于谐振子化学刻蚀的机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于谐振子化学刻蚀的机构，其特征在于，所述驱动机构包括x轴平动机构(4)、y轴平动机构(5)与z轴平动机构(6)，所述z轴平动机构(6)设于所述y轴平动机构(5)，所述y轴平动机构(5)设于所述x轴平动机构(4)，所述刻蚀轨迹实现机构(3)设于所述z轴平动机构(6)。

3.根据权利要求2所述的用于谐振子化学刻蚀的机构，其特征在于，所述x轴平动机构(4)、所述y轴平动机构(5)与所述z轴平动机构(6)均包括：步进电机(7)、联轴器(8)、轴承座(9)、滚珠丝杠(11)、滑轨底板(12)与丝杠螺母座(13)，所述步进电机(7)设于所述滑轨底板(12)，所述步进电机(7)通过所述联轴器(8)连接于所述滚珠丝杠(11)，所述滚珠丝杠(11)贯穿所述轴承座(9)设置，所述滚珠丝杠(11)与所述丝杠螺母座(13)连接，所述轴承座(9)设有两个且两个所述轴承座(9)分别设于所述滑轨底板(12)的两端。

4.根据权利要求3所述的用于谐振子化学刻蚀的机构，其特征在于，所述x轴平动机构(4)、所述y轴平动机构(5)与所述z轴平动机构(6)还包括：直线导轨(10)与导轨滑块(14)，所述直线导轨(10)设于所述滑轨底板(12)，所述导轨滑块(14)设于所述丝杠螺母座(13)与...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾永雷，邓楷昕，潘瑶，吴伟，谭中奇，杨开勇，罗晖，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：