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本发明公开了一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备，包括：基座；液体盒，设于基座，液体盒设有至少四个并用于存放化学刻蚀用的液体；驱动机构，设于基座的上端，驱动机构用于连接谐振子并带动谐振子伸入或取出液体盒；刻蚀轨迹实现机构，设于驱...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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