【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频，尤其涉及一种射频电路、射频电源设备及电抗补偿方法。
技术介绍
1、目前，随着射频（radio frequency，rf）各种应用的普及，对射频电路进行的阻抗匹配变得越发重要，以获取最大的负载的功率值。
2、然而，当前的射频电路的设计越发复杂，元器件越发多样，无论在射频电路工作前，还是射频电路在工作中负载的电抗发生了变化，都较难通过调节射频电路以对射频电路进行电抗补偿，因此，如何可便捷地对射频电路进行电抗补偿，成为了需要考虑的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种射频电路、射频电源设备及电抗补偿方法，可便捷地对射频电路进行电抗补偿。
2、第一方面，提供一种射频电路，所述射频电路包括：射频电源、射频输出端、变压器、电抗补偿单元以及变比调节单元，所述射频电源用于向负载提供射频功率；所述射频输出端用于连接负载；所述变压器包括原边绕组和副边绕组，所述原边绕组连接于所述射频电源与所述射频输出端之间；所述电抗补偿单元与所述变压器的所述副边绕组串联连接,用于可选择...
【技术保护点】
1.一种射频电路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的射频电路，其特征在于，所述电抗补偿单元包括第一补偿支路、第二补偿支路以及开关单元，所述第一补偿支路呈感性，所述第二补偿支路呈容性；
3.根据权利要求2所述的射频电路，其特征在于，所述开关单元用于在所述原边绕组一侧呈现的电抗属性为容性时，将所述第一补偿支路与所述副边绕组串联连接，以提供补偿感抗，并在所述原边绕组一侧呈现的电抗属性为感性时，将所述第二补偿支路与所述副边绕组串联连接，以提供补偿容抗；
4.根据权利要求1所述的射频电路，其特征在于，所述射频电路需要进行电抗补偿的情...
【技术特征摘要】
1.一种射频电路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的射频电路，其特征在于，所述电抗补偿单元包括第一补偿支路、第二补偿支路以及开关单元，所述第一补偿支路呈感性，所述第二补偿支路呈容性；
3.根据权利要求2所述的射频电路，其特征在于，所述开关单元用于在所述原边绕组一侧呈现的电抗属性为容性时，将所述第一补偿支路与所述副边绕组串联连接，以提供补偿感抗，并在所述原边绕组一侧呈现的电抗属性为感性时，将所述第二补偿支路与所述副边绕组串联连接，以提供补偿容抗；
4.根据权利要求1所述的射频电路，其特征在于，所述射频电路需要进行电抗补偿的情况包括所述负载的功率发生变化的情况，在所述负载的功率发生变化时，所述电抗补偿单元提供补偿电抗，所述变比调节单元还用于以对应的调节方向和调节幅度调节所述变压器的变比，以对所述射频电路在所述原边绕组一侧的电抗进行补偿，其中，所述调节方向为所述变压器的变比的调大方向或者调小方向，所述调节幅度为在所述调节方向下的变比变化值。
5.根据权利要求4所述的射频电路，其特征在于，在所述负载的功率在预设时段内发生持续变化时，所述变比调节单元还用于以对应的调节速度调节所述变压器的变比，以对所述原边绕组一侧在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树晓，陈亚梯，
申请(专利权)人：深圳市瀚强科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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