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本申请提供一种射频电路、射频电源设备及电抗补偿方法,涉及射频技术领域,射频电路包括:射频电源、射频输出端、变压器、电抗补偿单元以及变比调节单元,射频电源用于向负载提供射频功率;射频输出端用于连接负载;变压器包括原边绕组和副边绕组,原边绕组连...该专利属于深圳市瀚强科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市瀚强科技股份有限公司授权不得商用。
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