【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池生产设备，具体而言，涉及一种用于石墨舟干法清洗的装置及使用方法。
技术介绍
1、隧穿氧化硅钝化接触(topcon)电池是一种光伏晶硅电池，近年来，由于其高转换效率、低衰减性能、高量产性价比等明显优势，受到产业的广泛认可。从结构上来看，topcon是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触技术，其典型电池结构包括晶硅衬底，在晶硅衬底背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合。
2、目前，topcon太阳能电池的超薄氧化硅和掺杂多晶硅通常采用管式pecvd制备，生产过程需要用到晶硅电池片的承载物——石墨舟。在pecvd工艺制备过程中，石墨舟进入pecvd反应腔体内，其表面也会沉积氧化硅和掺杂多晶硅薄膜。而高掺杂多晶硅具有弱导电，当薄膜达到一定厚度，会对石墨舟上互为正负极的舟叶间电阻值产生影响，进入影响pecvd沉积反应生长速率，导致电池片生产工艺的稳定性下降。因此，石墨舟在使用过一段时间后，需要进行清洗处理，去除表面沉积的氧化硅和掺杂多
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1.一种用于石墨舟干法清洗的装置，其特征在于，包括反应室(1)，所述反应室(1)具有用于容纳石墨舟(8)的反应腔(11)，所述反应腔(11)内设有至少一块偏置电极板(6)，各所述偏置电极板(6)上设有用于支撑所述石墨舟(8)的绝缘块(61)，所述反应室(1)包括顶盖(12)，所述反应室(1)内设有线圈盒(2)，所述顶盖(12)覆盖所述线圈盒(2)的顶部开口，所述顶盖(12)与所述线圈盒(2)的顶部密封连接，所述线圈盒(2)的侧壁与所述顶盖(12)密封连接，所述线圈盒(2)的底板为介质板(22)，所述介质板(22)上分布有多个第一匀气孔(23)，所述线圈盒(2)内空间构...
【技术特征摘要】
1.一种用于石墨舟干法清洗的装置，其特征在于，包括反应室(1)，所述反应室(1)具有用于容纳石墨舟(8)的反应腔(11)，所述反应腔(11)内设有至少一块偏置电极板(6)，各所述偏置电极板(6)上设有用于支撑所述石墨舟(8)的绝缘块(61)，所述反应室(1)包括顶盖(12)，所述反应室(1)内设有线圈盒(2)，所述顶盖(12)覆盖所述线圈盒(2)的顶部开口，所述顶盖(12)与所述线圈盒(2)的顶部密封连接，所述线圈盒(2)的侧壁与所述顶盖(12)密封连接，所述线圈盒(2)的底板为介质板(22)，所述介质板(22)上分布有多个第一匀气孔(23)，所述线圈盒(2)内空间构成线圈腔(21)，所述线圈腔(21)内设有电感耦合线圈(3)，所述电感耦合线圈(3)的投影区域覆盖所述石墨舟(8)，所述顶盖(12)上设有与所述线圈腔(21)连通的第一进气管(51)。
2.根据权利要求1所述的用于石墨舟干法清洗的装置，其特征在于，所述反应室(1)内设有排气导气部件(7)，所述排气导气部件(7)设置在所述偏置电极板(6)的下方，所述排气导气部件(7)上设有多个开口朝上的排气口(71)，所述排气导气部件(7)的投影区域覆盖所述石墨舟(8)，所述排气导气部件(7)与设置在所述反应室(1)的外部的真空装置(72)连接。
3.根据权利要求1或2所述的用于石墨舟干法清洗的装置，其特征在于，所述线圈盒(2)的材质为低介电系数且不会与反应气体发生反应的材料。
4.根据权利要求1或2所述的用于石墨舟干法清洗的装置，其特征在于，所述电感耦合线圈(3)的布线结构选自两端电极闭合的回字螺旋结构、两端电极闭合的蛇形结构、两端电极不闭合的梳齿形结构中的一种，所述电感耦合线圈(3)中相邻的平行线之间的距离为10～200mm。
5.根据权利要求1或2所述的用于石墨舟干法清洗的装置，其特征在于，所述偏置电极板(6)设置在所述反应室(1)的底部，所述偏置电极板(6)与所述反应室(1)的腔壁绝缘，所述偏置电极板(6)的馈入电源选自恒压直流电源、脉冲直流电源、1khz～40khz中频电源中的一种。
6.根据权利要求1或2所述的用于石墨舟干法清洗的装置，其特征在于，所述反应室(1)内设有匀气盒(4)，所述顶盖(12)覆盖所述匀气盒(4)的顶部开口，所述匀气盒(4)的侧壁与所述顶盖(12)密封连接，所述匀气盒(4)的底板为匀气板(42)，所述匀气板(42)上分布有多个第二匀气孔(43)，所述匀气盒(4)内空间...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁刚，黄如伟，夏庆锋，
申请(专利权)人：中科研和宁波科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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