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本发明提供了一种用于石墨舟干法清洗的装置及使用方法，装置包括反应室，反应室具有用于容纳石墨舟的反应腔，反应腔内设有偏置电极板和线圈盒，线圈盒的底板为介质板，介质板上分布有多个第一匀气孔，线圈盒内空间构成线圈腔，线圈腔内设有电感耦合线圈，电感...
该专利属于中科研和（宁波）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科研和（宁波）科技有限公司授权不得商用。

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