快速多自由度纠偏机构制造技术

本发明专利技术涉及一种快速多自由度纠偏机构，包括机构底板、纠偏单元、Y向相机单元、X向相机单元和抓料单元，纠偏单元设置在机构底板上，纠偏单元沿着Y轴负方向一侧的机构底板上设置有Y向相机单元，纠偏单元沿着X轴负方向一侧的机构底板上设置有X向相机单元，纠偏单元的上方设置有抓料单元。本发明专利技术通过抓料夹爪气缸、纠偏定位夹爪气缸和纠偏定位台的配合使用，使得物料定位在纠偏定位台上后能够很好的配合进行多个角度上纠偏，且纠偏前后的上下料较为方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体加工相关，尤其涉及一种快速多自由度纠偏机构。

技术介绍

1、半导体行业中，对微小元件进行搬运、加工等工序时，有对元件进行多自由度精确定位纠偏的需求。

2、经过海量检索，发现现有技术公开号为cn218039141u，公开了一种半导体元件多自由度定位机构，包括固定底板、纠偏机构、x向纠偏相机模组、z向纠偏相机模组和y向纠偏相机模组，纠偏机构、x向纠偏相机模组、z向纠偏相机模组和y向纠偏相机模组均安装在固定底板上，x向纠偏相机模组位于纠偏机构沿着y轴负方向的一侧，z向纠偏相机模组位于纠偏机构的正上方位置，y向纠偏相机模组位于纠偏机构沿着x轴负方向的一侧。本专利技术通过纠偏机构、x向纠偏相机模组、z向纠偏相机模组和y向纠偏相机模组的协同配合，在三个方向的视觉定位的控制下，能够对微小元器件在微小的空间内进行精确的六自由度纠偏定位。

3、综上所述，现有技术中存在的问题在于：

4、现有技术中的定位机构在使用过程中，物料是通过外部搬运机构放置定位在纠偏吸附基座上的，这样物料定位在纠偏吸附基座上后不能够很好的配合进行多本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.快速多自由度纠偏机构，包括机构底板(1)、纠偏单元(2)、Y向相机单元(3)、X向相机单元(4)和抓料单元(5)，所述纠偏单元(2)设置在机构底板(1)上，所述纠偏单元(2)沿着Y轴负方向一侧的机构底板(1)上设置有Y向相机单元(3)，所述纠偏单元(2)沿着X轴负方向一侧的机构底板(1)上设置有X向相机单元(4)，所述纠偏单元(2)的上方设置有抓料单元(5)；

2.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述纠偏运动模组从下往上依次包括纠偏Z轴模组(7)、纠偏旋转台(8)、纠偏Y向模组(9)、纠偏X向模组(10)、纠偏第一弧摆台(11)和纠偏第二弧摆台(12)...

【技术特征摘要】

1.快速多自由度纠偏机构，包括机构底板(1)、纠偏单元(2)、y向相机单元(3)、x向相机单元(4)和抓料单元(5)，所述纠偏单元(2)设置在机构底板(1)上，所述纠偏单元(2)沿着y轴负方向一侧的机构底板(1)上设置有y向相机单元(3)，所述纠偏单元(2)沿着x轴负方向一侧的机构底板(1)上设置有x向相机单元(4)，所述纠偏单元(2)的上方设置有抓料单元(5)；

2.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述纠偏运动模组从下往上依次包括纠偏z轴模组(7)、纠偏旋转台(8)、纠偏y向模组(9)、纠偏x向模组(10)、纠偏第一弧摆台(11)和纠偏第二弧摆台(12)。

3.如权利要求2所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述纠偏旋转台(8)可在xy向平面内旋转运动，所述纠偏第一弧摆台(11)可在yz向平面内弧形摆动，所述纠偏第二弧摆台(12)可在xz向平面内弧形摆动。

4.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，在所述纠偏定位台(13)上沿着x轴正方向的一侧还安装有纠偏...

【专利技术属性】
技术研发人员：狄建科，武晓波，
申请(专利权)人：苏州展德自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：