【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工相关，尤其涉及一种快速多自由度纠偏机构。
技术介绍
1、半导体行业中，对微小元件进行搬运、加工等工序时，有对元件进行多自由度精确定位纠偏的需求。
2、经过海量检索，发现现有技术公开号为cn218039141u，公开了一种半导体元件多自由度定位机构，包括固定底板、纠偏机构、x向纠偏相机模组、z向纠偏相机模组和y向纠偏相机模组，纠偏机构、x向纠偏相机模组、z向纠偏相机模组和y向纠偏相机模组均安装在固定底板上，x向纠偏相机模组位于纠偏机构沿着y轴负方向的一侧，z向纠偏相机模组位于纠偏机构的正上方位置，y向纠偏相机模组位于纠偏机构沿着x轴负方向的一侧。本专利技术通过纠偏机构、x向纠偏相机模组、z向纠偏相机模组和y向纠偏相机模组的协同配合，在三个方向的视觉定位的控制下，能够对微小元器件在微小的空间内进行精确的六自由度纠偏定位。
3、综上所述，现有技术中存在的问题在于：
4、现有技术中的定位机构在使用过程中，物料是通过外部搬运机构放置定位在纠偏吸附基座上的，这样物料定位在纠偏吸附基座上后不能够很好的配合进行多个角度上纠偏，且纠偏前后的上下料较为不便。
5、有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种快速多自由度纠偏机构，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种快速多自由度纠偏机构。
2、为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
3
4、纠偏单元包括纠偏底板、纠偏定位台和纠偏定位夹爪气缸，纠偏底板上的纠偏运动模组与上方的纠偏定位台相连接，纠偏定位台上沿着y轴正方向的一侧安装有纠偏定位夹爪气缸，纠偏定位台内安装有纠偏定位固定夹爪，纠偏定位夹爪气缸上的纠偏定位活动夹爪与纠偏定位固定夹爪相互配合，且纠偏定位固定夹爪和纠偏定位活动夹爪依次沿着x轴的正方向设置；
5、抓料单元包括抓料z向模组和抓料夹爪气缸，抓料z向模组安装在顶梁上，抓料z向模组可驱动下方的抓料夹爪气缸沿着z轴方向移动，抓料夹爪气缸的底部沿着x轴的正方向依次安装有抓料定位夹爪和抓料平夹爪。
6、作为本专利技术的进一步改进，纠偏运动模组从下往上依次包括纠偏z轴模组、纠偏旋转台、纠偏y向模组、纠偏x向模组、纠偏第一弧摆台和纠偏第二弧摆台。
7、作为本专利技术的进一步改进，纠偏旋转台可在xy向平面内旋转运动，纠偏第一弧摆台可在yz向平面内弧形摆动，纠偏第二弧摆台可在xz向平面内弧形摆动。
8、作为本专利技术的进一步改进，在纠偏定位台上沿着x轴正方向的一侧还安装有纠偏背光源。
9、作为本专利技术的进一步改进，y向相机单元包括y向相机支架、y向相机x向模组、y向相机y向模组、y向相机z向模组和y向相机，y向相机支架安装在机构底板上，y向相机支架上从下往上依次安装有y向相机x向模组、y向相机y向模组、y向相机z向模组和y向相机。
10、作为本专利技术的进一步改进，x向相机支架、x向相机y向模组、x向相机x向模组、x向相机z向模组和x向相机，x向相机支架安装在机构底板上，x向相机支架上从下往上依次安装有x向相机x向模组、x向相机z向模组和x向相机。
11、作为本专利技术的进一步改进，抓料夹爪气缸沿着x轴负方向一侧的抓料z向模组上的驱动端上还安装有z向相机。
12、借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
13、本专利技术通过抓料夹爪气缸、纠偏定位夹爪气缸和纠偏定位台的配合使用，使得物料定位在纠偏定位台上后能够很好的配合进行多个角度上纠偏，且纠偏前后的上下料较为方便；
14、本专利技术与同类型多自由纠偏机构相比，此机构在正常工作时，只需对一个方向进行自动视觉定位纠偏，避免了所有定位纠偏轴都参与定位纠偏的行为，避免引入了各纠偏轴的硬件定位精度带来的系统误差，和由此引发的整定动作次数和时间的增加，从而大幅度优化了节拍。
15、上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
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1.快速多自由度纠偏机构，包括机构底板(1)、纠偏单元(2)、Y向相机单元(3)、X向相机单元(4)和抓料单元(5)，所述纠偏单元(2)设置在机构底板(1)上，所述纠偏单元(2)沿着Y轴负方向一侧的机构底板(1)上设置有Y向相机单元(3)，所述纠偏单元(2)沿着X轴负方向一侧的机构底板(1)上设置有X向相机单元(4)，所述纠偏单元(2)的上方设置有抓料单元(5)；
2.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述纠偏运动模组从下往上依次包括纠偏Z轴模组(7)、纠偏旋转台(8)、纠偏Y向模组(9)、纠偏X向模组(10)、纠偏第一弧摆台(11)和纠偏第二弧摆台(12)。
3.如权利要求2所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述纠偏旋转台(8)可在XY向平面内旋转运动，所述纠偏第一弧摆台(11)可在YZ向平面内弧形摆动，所述纠偏第二弧摆台(12)可在XZ向平面内弧形摆动。
4.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，在所述纠偏定位台(13)上沿着X轴正方向的一侧还安装有纠偏背光源(14)。
5.如权利要求1所述
6.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述X向相机支架(23)、X向相机Y向模组(24)、X向相机X向模组(25)、X向相机Z向模组(26)和X向相机(27)，所述X向相机支架(23)安装在机构底板(1)上，所述X向相机支架(23)上从下往上依次安装有X向相机X向模组(25)、X向相机Z向模组(26)和X向相机(27)。
7.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述抓料夹爪气缸(30)沿着X轴负方向一侧的抓料Z向模组(28)上的驱动端上还安装有Z向相机(29)。
...【技术特征摘要】
1.快速多自由度纠偏机构，包括机构底板(1)、纠偏单元(2)、y向相机单元(3)、x向相机单元(4)和抓料单元(5)，所述纠偏单元(2)设置在机构底板(1)上，所述纠偏单元(2)沿着y轴负方向一侧的机构底板(1)上设置有y向相机单元(3)，所述纠偏单元(2)沿着x轴负方向一侧的机构底板(1)上设置有x向相机单元(4)，所述纠偏单元(2)的上方设置有抓料单元(5)；
2.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述纠偏运动模组从下往上依次包括纠偏z轴模组(7)、纠偏旋转台(8)、纠偏y向模组(9)、纠偏x向模组(10)、纠偏第一弧摆台(11)和纠偏第二弧摆台(12)。
3.如权利要求2所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，所述纠偏旋转台(8)可在xy向平面内旋转运动，所述纠偏第一弧摆台(11)可在yz向平面内弧形摆动，所述纠偏第二弧摆台(12)可在xz向平面内弧形摆动。
4.如权利要求1所述的快速多自由度纠偏机构，其特征在于，在所述纠偏定位台(13)上沿着x轴正方向的一侧还安装有纠偏...
【专利技术属性】
技术研发人员：狄建科，武晓波，
申请(专利权)人：苏州展德自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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