【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产，特别涉及一种拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法、系统及计算机可读存储介质。
技术介绍
1、在半导体拉晶制造业中，目前需要凭人工经验算出合适的引晶埚位和引晶功率这两个参数值，然后输入设备来引晶，由于人员经验存在差异，导致设备的引晶成功率存在很大的波动，引晶成功率低下。
技术实现思路
1、本专利技术为了解决上述问题，目的在于提供一种拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法、系统及计算机可读存储介质。
2、为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、本专利技术提供一种拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于，包括以下步骤：
4、步骤一：获取拉晶设备在历史籽晶回旋阶段及引晶阶段的历史设备参数；
5、步骤二：将历史设备参数输入机器学习模型进行训练优化模型性能，直到模型的正确率到达95％以上，然后输出优化后的模型；
6、步骤三：获取拉晶设备的当前段设备参数；
7、步骤四：将当前段设备参数输入优化后的模型，预测出当前的引晶功率和引晶锅位。
8、进一步地，在本专利技术提供的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法中，还可以具有这样的特征：其中，历史设备参数中，历史籽晶回旋阶段的设备参数是包括批次、段数、剩料重量在内的所有设备参数，历史引晶阶段的设备参数为引晶功率和引晶锅位。
9、进一步地，在本专利技术提供的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法中，还可以具有这样
10、进一步地，在本专利技术提供的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法中，还可以具有这样的特征：其中，机器学习模型采用xgboost回归模型，将历史设备参数分成训练集和验证集，模型训练过程中自变量为历史引晶阶段的设备参数，因变量为历史引晶阶段的引晶功率和引晶锅位。
11、进一步地，在本专利技术提供的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法中，还可以具有这样的特征：其中，步骤三中所获取拉晶设备的当前段设备参数是包括批次、段数、剩料重量在内的所有设备参数，均为当前段的实际值。
12、本专利技术还提供一种拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐系统，其特征在于，包括：历史设备参数存储模块，按照设备名称对应存储有该设备的历史籽晶回旋阶段及引晶阶段的历史设备参数；当前段设备参数获取模块，用于从产线获取当前段设备参数；预测模块，输入当前段设备参数，调用优化后的模型，通过模型运算预测出引晶阶段的引晶功率和引晶锅位；显示界面模块，用于在系统界面中显示有设备参数栏位以及参数变化趋势。
13、进一步地，在本专利技术提供的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐系统中，还可以具有这样的特征：其中，系统界面所显示的设备参数栏位包括：设备名称、当地段的批次、当前段的段数、当前段的剩余重量、预测得到的推荐引晶功率、预测得到的引晶锅位。
14、进一步地，在本专利技术提供的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐系统中，还可以具有这样的特征：其中，参数变化趋势包括表格形式以及趋势图形式。
15、本专利技术还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法。
16、本专利技术的有益效果：
17、本专利技术提供的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法及系统，用机器学习方式对设备历史引晶功率和锅位进行数据挖掘，快速自动推荐出引晶功率&锅位值，指导现场生产，提高引晶成功率，可有效降低现场人员负担及人员经验要求。
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1.一种拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于：
3.如权利要求2所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于：
4.如权利要求2或3所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于：
5.如权利要求1所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于：
6.一种拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐系统，用于实现如权利要求1～5中任意一项所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于，该系统包括：
7.如权利要求6所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐系统，其特征在于：
8.如权利要求6所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐系统，其特征在于：
9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现如权利要求1～8中任意一项所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法。
【技术特征摘要】
1.一种拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于：
3.如权利要求2所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于：
4.如权利要求2或3所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于：
5.如权利要求1所述的拉晶行业引晶功率和引晶锅位自动推荐方法，其特征在于：
6.一种拉晶行业引晶功率和引晶...
【专利技术属性】
技术研发人员：温志鹏，巫文豪，马士凯，王文瑞，孙志岩，
申请(专利权)人：上海哥瑞利软件股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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