一种微反射镜结构及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种微反射镜结构及其制造方法。所述微反射镜结构包括玻璃衬底和硅片，所述硅片具有平行的上平面层和下平面层，一镜面支撑柱设置在上下平面层中心并与其一体连接；所述上平面层形成反射镜面，所述下平面层形成硅驱动极板、键合锚点以及扭梁，所述扭梁的一端与硅驱动极板连接，另一端与键合锚点连接；所述硅片与玻璃衬底通过所述键合锚点键合。相对于现有技术，本发明专利技术的微反射镜制造方法制造的成品具有低驱动电压且微反射镜的镜面采用硅片原始抛光镜面，光洁度高，同时工艺简单，成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微电子机械系统(MEMS)加工
，涉及一种在硅和玻璃衬底上 通过圆片键合工艺、扩散工艺与刻蚀工艺制造的微反射镜结构及其制造方法。
技术介绍
信息技术、光纤通信技术的发展，使得微光电机械系统(M0EMS)成为当前研究的 热点。M0EMS应用遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感等多个方面。随着 光纤到户及全光网的发展，对具有损耗小、隔离度高的M0EMS器件的需求快速增长，目前主 要的产品包括光波导、MEMS光开关、MEMS可调光衰减器(VOA) .MEMS波长选择开关(WSS)。 随着全光网络的普及以及我国三网融合战略的实施，M0EMS器件的市场将得到快速增长。在M0EMS中，改变“光线”方向的核心元件是反射镜。微反射镜及其阵列是构成 MEMS光开关、光衰减器、波长选择开关以及显示器的基础与核心组成部分，因此微反射镜及 其阵列具有广阔的应用前景，目前国内仅光衰减器的市场每年都超过1.4亿人民币，尤其 随着光纤通信向光纤到户(FTTH)以及全光通信的发展，具有全光特性的MEMS反射镜将会 发挥更重要作用。从微反射镜的动作方式可分为平动、垂直动以及扭动，目本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微反射镜结构，其特征在于：包括玻璃衬底和硅片，所述硅片具有平行的上平面层和下平面层，一镜面支撑柱设置在上下平面层中心并与其一体连接；所述上平面层形成反射镜面，所述下平面层形成硅驱动极板、键合锚点以及扭梁，所述扭梁的一端与硅驱动极板连接，另一端与键合锚点连接；所述硅片与玻璃衬底通过所述键合锚点键合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨拥军，徐永青，陈愿勤，
申请(专利权)人：中山市张家边企业集团有限公司企业技术中心，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]