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本发明涉及一种微反射镜结构及其制造方法。所述微反射镜结构包括玻璃衬底和硅片，所述硅片具有平行的上平面层和下平面层，一镜面支撑柱设置在上下平面层中心并与其一体连接；所述上平面层形成反射镜面，所述下平面层形成硅驱动极板、键合锚点以及扭梁，所述扭...
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