一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用技术

本申请涉及声学膜材料技术领域，具体公开了一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用。本申请提供的多层金刚石振膜层级结构如A(BC)n所示；A为基底层，晶体粒度为0.5μm‑2μm；B为生长层，晶体粒度为5μm‑20μm；C为填充层，晶体粒度为5nm‑50nm；所述n为1‑5；所述多层金刚石振膜的表面粗糙度为0.5μm‑1μm；所述金刚石振膜在100‑1000hz频段下的声压级≥105dB，在1000‑10000hz频段下的声压级≥95dB；本申请还提供了上述多层金刚石振膜的制备方法。本申请提供的多层金刚石振膜厚度均匀、表面粗糙度低、谐振与气动阻尼小，因此具备优异的声音传播速度与传播质量。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及声学膜材料，具体涉及一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用。

技术介绍

1、在蓝牙耳机、小型音响等产品领域，声音传播速度和薄膜的发声清晰度是关键性指标，而薄膜的刚度、内阻尼、重量是影响薄膜品质的关键因子。目前传统的耳机薄膜材料主要有两类，一类是聚合物材料，主要包括聚醚醚酮材料、聚氨酯材料等，其质量较轻、加工较低、并且具备良好的阻尼性能，但是此类材料均存在刚性比较差、杨氏模量较低、传音质量较差的缺点；另一类是金属材料，主要包括铝、镁和钛等金属，但由于金属材料的刚性强，导致加工难度大，而且金属材料的阻尼较低，很容易造成耳机失真比较严重。

2、近年来，由于金刚石薄膜具有较高的声传播速度和硬度，其能够减少声音传播过程中的能量损耗和失真，因此已有技术采用金刚石薄膜这一特殊材料作为耳机产品的振膜，并且在声音传播速度和发声清晰度方面取得一定效果。然而，目前的多晶金刚石薄膜还存在表面不光滑、厚度不均匀、谐振以及气动阻尼等问题，依然影响声音的传播速度与传播质量。

3、因此，目前需要提供一种表面光滑、厚度均匀性好、谐振与气动阻尼小的金刚石薄膜，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多层金刚石振膜，其特征在于，所述多层金刚石振膜的层级结构如A(BC)n所示；

2.根据权利要求1所述的多层金刚石振膜，其特征在于，所述生长层B的厚度为5μm-20μm，填充层C的厚度为2μm-10μm。

3.根据权利要求1所述的多层金刚石振膜，其特征在于，所述基底层A的厚度为5μm-10μm。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的多层金刚石振膜，其特征在于，所述多层金刚石振膜的厚度为20μm-40μm。

5.如权利要求1-4中任一项所述的多层金刚石振膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：生长台预处理、化学气相沉积、脱模、减薄与表面...

【技术特征摘要】

1.一种多层金刚石振膜，其特征在于，所述多层金刚石振膜的层级结构如a(bc)n所示；

2.根据权利要求1所述的多层金刚石振膜，其特征在于，所述生长层b的厚度为5μm-20μm，填充层c的厚度为2μm-10μm。

3.根据权利要求1所述的多层金刚石振膜，其特征在于，所述基底层a的厚度为5μm-10μm。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的多层金刚石振膜，其特征在于，所述多层金刚石振膜的厚度为20μm-40μm。

5.如权利要求1-4中任一项所述的多层金刚石振膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：生长台预处理、化学气相沉积、脱模、减薄与表面抛光处理；

6.根据权利要求5所述的多层金刚石振膜的制备方法，其特征在于，所述气相沉积步骤中，生长层b与...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐文林，常芷铭，华金国，
申请(专利权)人：北京沃尔德金刚石工具股份有限公司，
类型：发明
国别省市：