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本申请涉及声学膜材料技术领域,具体公开了一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用。本申请提供的多层金刚石振膜层级结构如A(BC)n所示;A为基底层,晶体粒度为0.5μm‑2μm;B为生长层,晶体粒度为5μm‑20μm;C为填充层,晶体粒度为5n...该专利属于北京沃尔德金刚石工具股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京沃尔德金刚石工具股份有限公司授权不得商用。
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