【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及柔性印刷布线板的制造方法。对于允许通过参照文献而并入的指定国，将于2021年6月3日在日本申请的特愿2021-093839所记载的内容通过参照而并入本说明书中，作为本说明书的记载的一部分。
技术介绍
1、长条的柔性布线电路基板的制造方法具备：在绝缘层的表面形成金属薄膜的工序；在金属薄膜的表面形成光致抗蚀剂的工序；以及在使光掩膜相对于光致抗蚀剂沿长度方向偏移的同时多次曝光光致抗蚀剂的工序(例如，参照专利文献1)。
2、光掩膜包含具有与布线对应的形状的透光部分，该透光部分由直线状地延伸的矩形形状的多个透光区域构成。在曝光工序中，以使在先曝光时的光掩膜的透光区域的后端与在后曝光时的光掩膜的透光区域的前端重叠的方式配置光掩膜。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2018-092966号公报
技术实现思路
1、(一)要解决的技术问题
2、在如上所述的曝光工序中，难以使在后曝光时的光掩膜的透光区域的前端与在先曝光时的光掩膜的透光区域的后端完全一致，前端会从透光区域的后端露出。因此，由于从后端露出的前端，在布线的连结部会形成朝向宽度方向棱角状突出的角部，由此会在布线的侧部产生伴随急剧的线宽变化的台阶(例如，参照专利文献1(图2-4))。存在如下问题，在将柔性布线电路基板弯折时，由于应力容易集中于该台阶，因此存在布线以台阶为起点破损的情况。
3、本专利技术的目的在于提供在布线的侧部不产生台阶
4、(二)技术方案
5、[1]本专利技术的柔性印刷布线板的制造方法是一种使用光致抗蚀剂制造柔性印刷布线板的柔性印刷布线板的制造方法，具备：第一工序，将具有第一区域和第二区域的光致抗蚀剂配置于基板上；第二工序，将具有第一透光部的第一光掩膜以所述第一透光部与所述第一区域对置的方式配置，经由所述第一透光部曝光所述光致抗蚀剂；以及第三工序，将具有第二透光部的第二光掩膜以所述第二透光部与所述第二区域对置的方式配置，经由所述第二透光部曝光所述光致抗蚀剂，所述第一和第二区域以所述第一区域的端部与所述第二区域的端部相互重叠的方式相邻，所述第一透光部具有线状的形状，所述线状的形状包含具有尖细形状的第一端头部，所述第二透光部具有线状的形状，所述线状的形状包含具有朝向与所述第一端头部相反侧的尖细形状的第二端头部，所述第三工序包括以使所述第二端头部所包含的第二对位目标点与第一位置重叠的方式配置所述第二光掩膜，所述第一位置是在所述第二工序中配置有所述第一端头部所包含的第一对位目标点的位置，所述第一端头部包含：第一端部；与所述第一端部连接的曲线状的第一边；以及与所述第一端部连接并且与所述第一边对置的曲线状的第二边，所述第一对位目标点是使所述第一透光部的大致中心在沿第一长度方向延伸的第一中心线上与所述第一端部相距距离a的点，所述第一和第二边位于第一假想三角形的外侧，所述第一假想三角形是连接第一假想直线与所述第一边的第一交点、所述第一假想直线与第二边的第二交点、以及所述第一中心线与所述第一端部的第三交点的假想的三角形，所述第一假想直线是沿所述第一透光部的第一宽度方向延伸并且通过所述第一对位目标点的假想的直线，所述第一交点与所述第二交点相距距离d，所述第二端头部包含：第二端部；与所述第二端部连接的曲线状的第三边；以及与所述第二端部连接并且与所述第二边对置的曲线状的第四边，所述第二对位目标点是使所述第二透光部的大致中心在沿第二长度方向延伸的第二中心线上与所述第二端部相距距离a的点，所述第三和第四边位于第二假想三角形的外侧，所述第二假想三角形是连接第二假想直线与所述第三边的第四交点、所述第二假想直线与第四边的第五交点、以及所述第二中心线与所述第二端部的第六交点的假想的三角形，所述第二假想直线是沿所述第二透光部的第二宽度方向延伸并且通过所述第二对位目标点的假想的直线，所述第四交点与所述第五交点相距距离d，所述柔性印刷布线板的制造方法满足下述(1)式，
6、[数式1]
7、
8、其中，在上述(1)式中，δx是所述第一长度方向上的所述第二对位目标点相对于所述第一位置的偏移量，δy是所述第一宽度方向上的所述第二对位目标点相对于所述第一位置的偏移量，θ是绕第一法线的旋转方向上的所述第二对位目标点相对于所述第一位置的偏移量，所述第一法线是通过所述第一位置并且相对于所述第一光掩膜垂直的法线
9、[2]在上述专利技术中，可以是，所述第一透光部还具有与所述第一端头部连接的第一主线部，所述第一对位目标点在所述第一端头部上位于比与所述第一主线部连接的第一连接部靠所述第一端部侧的位置，所述第二透光部还具有与所述第二端头部连接的第二主线部，所述第二对位目标点在所述第二端头部上位于比与所述第二主线部连接的第二连接部靠所述第二端部侧的位置，所述第一和第二主线部的宽度为w，满足下述(2)式，
10、d≤w (2)。
11、[3]在上述专利技术中，可以是，所述第一光掩膜具有以相互并列的方式配置的多个所述第一透光部，多个所述第一端头部随着朝向第一方向而以相对于相邻的其他所述第一端头部突出的方式依次偏移，所述第二光掩膜具有以相互并列的方式配置的多个所述第二透光部，多个所述第二端头部随着朝向第二方向而以相对于相邻的其他所述第二端头部突出的方式依次偏移，所述第二方向是从所述第一位置向所述第二对位目标点的沿所述第一宽度方向偏移的方向，所述第一方向是与所述第二方向相反的方向。
12、[4]在上述专利技术中，所述第二区域可以在所述第一长度方向上与所述第一区域相邻。
13、(三)有益效果
14、在本专利技术的柔性印刷布线板的制造方法中，在第一和第二透光部中，第一和第二端头部具有尖细形状，第一和第二边是位于第一假想三角形的外侧的曲线，第三和第四边是位于第二假想三角形的外侧的曲线，第一和第二对位目标点的位置满足上述(1)式的范围内。因此，第一和第二端部所对应的曝光部不会从经由第一透光部曝光的曝光部与经由第二透光部曝光的曝光部重叠的多重曝光部露出，在多重曝光部的外形上不产生台阶。因此，即使在对曝光后的光致抗蚀剂进行显影而形成的抗蚀剂图案中也不产生台阶，因此能够防止在布线的侧部产生台阶。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种柔性印刷布线板的制造方法，使用光致抗蚀剂制造柔性印刷布线板，具备：
2.根据权利要求1所述的柔性印刷布线板的制造方法，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的柔性印刷布线板的制造方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种柔性印刷布线板的制造方法，使用光致抗蚀剂制造柔性印刷布线板，具备：
2.根据权利要求1所述的柔性...
【专利技术属性】
技术研发人员：荒井大辅，岩村俊哉，
申请(专利权)人：藤仓印刷电路株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。