System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 换能器、电子设备以及换能器阵列制造技术_技高网

换能器、电子设备以及换能器阵列制造技术

技术编号:40147451 阅读:9 留言:0更新日期:2024-01-24 00:34
一种换能器(1),具备:基板(10),其具有主表面(11)以及与主表面(11)对置的背面(15);多个振动膜(12),其通过形成于背面(15)的多个凹部(16),形成为从基板(10)的主表面(11)起预定的厚度,以使主表面(11)能够在基板(10)的厚度方向上振动;以及多个驱动层(20),其在主表面(11)以一对下部电极层(21)以及上部电极层(23)夹着压电体层(22)的方式层叠于多个振动膜(12),多个振动膜(12)包括在主表面(11)的面内在至少两个方向上分别以预定的间隔配置的振动膜(12),产生足以作为扬声器使用的音量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本实施方式涉及换能器、电子设备以及换能器阵列


技术介绍

1、以往,已知有进行声波或超声波的发送或接收的换能器。例如,作为产生声波的扬声器,提供了应用了半导体制造技术的使用mems(micro electro mechanical systems:微机电系统)技术制作,并通过由一对电极从两侧夹着压电膜的压电元件来驱动振动板的类型的换能器(例如,参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:日本特开2012-105170号公报


技术实现思路

1、专利技术所要解决的课题

2、使用mems技术而制作的通过压电元件驱动振动板的类型的换能器,由于振动板的尺寸小,振动板的振幅也小,因此有时不能产生用于作为扬声器使用的充分的音量。

3、本实施方式是鉴于上述实际情况而提出的,其目的在于提供一种作为使用mems技术而制作的利用压电体对振动板进行驱动的类型的换能器,即使用作扬声器也能够产生充分的音量的换能器,以及具备这样的换能器的电子设备以及换能器阵列。

4、用于解决课题的手段

5、本实施方式的一个方式是一种换能器,具备:基板,其具有主表面以及与主表面对置的背面;多个振动膜,其以主表面能够在基板的厚度方向上振动的方式,通过形成于背面的多个凹部,使基板从主表面起形成为预定的厚度而得;以及多个驱动层,其在主表面以一对电极层夹着压电体层的方式层叠于多个振动膜,多个振动膜包括在主表面的面内在至少两个方向上分别以预定的间隔配置的振动膜。

6、本实施方式的一个方式是作为扬声器而具备上述换能器的电子设备。

7、本实施方式的一个方式,是使用上述换能器,多个换能器的主表面朝向一侧,多个换能器以包括在至少两个方向上分别以预定的间隔配置的换能器的方式二维状配置的换能器阵列。

8、专利技术效果

9、根据本实施方式,能够提供一种换能器,该换能器是利用压电体对使用mems技术而制造出的振动板进行驱动的类型的换能器,能够产生足以作为扬声器使用的音量。此外,可以提供能够产生足够音量的电子设备和换能器阵列。

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【技术保护点】

1.一种换能器,其特征在于,具备:

2.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于,

3.根据权利要求1或2所述的换能器,其特征在于,

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的换能器,其特征在于,

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的换能器,其特征在于,

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的换能器,其特征在于,

7.根据权利要求6所述的换能器,其特征在于,

8.根据权利要求6或7所述的换能器,其特征在于,

9.根据权利要求8所述的换能器,其特征在于,

10.根据权利要求9所述的换能器,其特征在于,

11.根据权利要求10所述的换能器,其特征在于,

12.根据权利要求10或11所述的换能器,其特征在于,

13.根据权利要求1至12中的任一项所述的换能器,其特征在于,

14.根据权利要求1至13中的任一项所述的换能器,其特征在于,

15.根据权利要求1至14中的任一项所述的换能器,其特征在于,

16.根据权利要求1至15中的任一项所述的换能器,其特征在于,

17.一种电子设备,其特征在于,

18.一种换能器阵列,其特征在于,

19.根据权利要求18所述的换能器阵列,其特征在于,

20.根据权利要求18或19所述的换能器阵列,其特征在于,

...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种换能器,其特征在于,具备:

2.根据权利要求1所述的换能器,其特征在于,

3.根据权利要求1或2所述的换能器,其特征在于,

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的换能器,其特征在于,

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的换能器,其特征在于,

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的换能器,其特征在于,

7.根据权利要求6所述的换能器,其特征在于,

8.根据权利要求6或7所述的换能器,其特征在于,

9.根据权利要求8所述的换能器,其特征在于,

10.根据权利要求9所述的换能器,其特征在于,

11.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:内贵崇
申请(专利权)人:罗姆股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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