【技术实现步骤摘要】
本技术涉及显示面板制造，尤其涉及一种坩埚加热器及蒸镀设备。
技术介绍
1、在显示面板的制造过程中，会使用到蒸镀设备对玻璃基板进行蒸镀处理。即在特定的真空环境中，将固体的有机材料加热蒸发成蒸镀气体，并使蒸镀气体在玻璃基板上沉积以形成有机膜层。
2、参照图1所示，现有的蒸镀设备包括坩埚1′和加热器，加热器包括外壳2′和第一加热组件3′，外壳2′内沿竖直方向间隔设置有多个环形的固定支架5′，相邻两个固定支架5′之间设置有一个第一加热组件3′，第一加热组件3′沿固定支架5′的周向环绕设置，所有第一加热组件3′和所有的固定支架5′共同形成有容纳空间，坩埚1′安装在容纳空间内。在蒸镀作业时，先将有机材料填充在坩埚1′内，然后将坩埚1′放入到外壳2′内，通过第一加热组件3′加热坩埚1′内的有机材料并产生蒸镀气体从坩埚1′顶部的喷嘴喷出。
3、由于坩埚1′的顶部具有开口，坩埚1′靠近顶部处散热较快，有机材料容易在坩埚1′上缘凝结，造成坩埚1′开口堵塞。因此，现有技术的加热器增设有第二加热组件4′，第一加热组件3′位于第二加热组件4′上方，且第一加热组件3′的加热温度大于第二加热组件4′的加热温度，以使有机材料不在坩埚1′上缘凝结。现有技术存在以下不足：外壳内越靠近第一加热组件3′的部分，其温度也越高，而第一加热组件3′和第二加热组件4′的电源接头7′均通过导线6′竖直向下延伸至外壳2′底部外侧并与电源连接，与第一加热组件3′连接的导线6′，其在靠近第一加热组件3′处的部分容易因高温而发生变形损坏，导致第一加热组件3′无法
技术实现思路
1、本技术的一个目的在于：提供一种坩埚加热器，其结构简单，能够防止导线在高温环境下变形损坏，使用寿命长。
2、本技术的另一个目的在于：提供一种蒸镀设备，其能够有效减少坩埚加热器损坏，以减少停机维护的情况。
3、为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
4、第一方面，提供一种坩埚加热器，包括外壳、第一加热组件和隔热支架，所述外壳内沿竖直方向间隔设置有多个环形的固定支架，所述固定支架设置有安装孔；所述第一加热组件的两端分别插设在相邻两个所述固定支架的所述安装孔内，所有所述第一加热组件和所有所述固定支架形成有用于容纳坩埚的加热腔，所述第一加热组件设置有导线和接头；所述隔热支架设置在所述外壳内并与所述固定支架连接，所述隔热支架贯穿设置有与所述安装孔连通的线槽，所述导线的一端与所述第一加热组件连接，另一端依次穿过所述安装孔和所述线槽与位于所述隔热支架外的接头连接，所述接头用于与电源连接。
5、作为坩埚加热器的一种优选方案，还包括冷却组件，所述冷却组件包括冷却管，所述冷却管螺旋环绕于所述线槽内的所述导线外侧。
6、作为坩埚加热器的一种优选方案，所述隔热支架包括隔热壳体和导热内壳，所述导热内壳设置在所述隔热壳体内部，所述导热内壳将所述隔热壳体内部分隔成所述线槽和安装空间，所述安装空间位于所述隔热壳体和所述导热内壳之间，所述线槽位于所述导热内壳内部，所述冷却管设置在所述安装空间内。
7、作为坩埚加热器的一种优选方案，所述外壳内设置有隔板，所述隔板将所述外壳内部沿竖直方向分隔成第一腔和第二腔，所述第一腔位于所述第二腔的上方，所述固定支架和所述第一加热组件均设置在所述第一腔内，所述坩埚加热器还包括第二加热组件，所述第二加热组件设置在所述隔板位于所述第二腔内的侧面上，所述第二加热组件用于加热所述坩埚的底面。
8、作为坩埚加热器的一种优选方案，所述隔板朝向所述加热腔凸出设置有定位凸起，所述隔板朝向所述第二腔的侧面对应所述定位凸起的位置设置有容纳槽，所述容纳槽内设置有第三加热组件。
9、作为坩埚加热器的一种优选方案，所述第一加热组件至少包括第一加热件和第二加热件，所述第二加热件设置在所述第一加热件的下方，所述第一加热件用于加热所述坩埚的上部，所述第二加热件用于加热所述坩埚的下部，所述第一加热件的加热温度大于所述第二加热件的加热温度。
10、作为坩埚加热器的一种优选方案，所述固定支架设置有三个，三个所述固定支架间隔并形成有自上向下间隔的第一安装区域和第二安装区域，所述第一安装区域设置有所述第一加热件，所述第二安装区域设置有所述第二加热件和所述隔热支架，所述第一加热件的所述导线穿设于所述隔热支架的所述线槽。
11、作为坩埚加热器的一种优选方案，所述固定支架和所述隔热支架二者中的一个设置有限位凸部，所述固定支架和所述隔热支架二者中的另一个设置有限位槽，所述限位凸部插设在所述限位槽内，以限位所述隔热支架。
12、作为坩埚加热器的一种优选方案，所述第一加热件和所述第二加热件均包括多个加热丝，所述加热丝竖直设置在相邻两个所述固定支架之间，且多个所述加热丝沿所述固定支架的周向等间距排布，所述第一加热件的所述加热丝数量大于所述第二加热件的所述加热丝数量。
13、第二方面，提供一种蒸镀设备，包括坩埚和以上所述的坩埚加热器，所述坩埚设置于所述坩埚加热器的加热腔内，所述坩埚包括埚体和喷嘴，所述喷嘴设置于所述埚体的顶面，所述坩埚加热器的外壳包括壳体和可拆卸设置于所述壳体顶部的盖板，所述盖板与所述埚体的顶面抵接，所述盖板上开设有与所述喷嘴连通的开孔。
14、本技术的有益效果为：隔热支架套设在导线外侧，在蒸镀时能够隔离大部分热量，以减少导线周围的环境温度，防止导线长期在高温环境下而发生变形损坏，从而延长坩埚加热器的使用寿命；同时，隔热支架通过线槽能够对导线起到防护作用，以避免导线变形并朝向加热腔内凸出，防止坩埚在防止到加热腔时刮伤导线。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种坩埚加热器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于，还包括冷却组件，所述冷却组件包括冷却管，所述冷却管螺旋环绕于所述线槽内的所述导线外侧。
3.根据权利要求2所述的坩埚加热器，其特征在于，所述隔热支架包括隔热壳体和导热内壳，所述导热内壳设置在所述隔热壳体内部，所述导热内壳将所述隔热壳体内部分隔成所述线槽和安装空间，所述安装空间位于所述隔热壳体和所述导热内壳之间，所述线槽位于所述导热内壳内部，所述冷却管设置在所述安装空间内。
4.根据权利要求1至3任一项所述的坩埚加热器，其特征在于，所述外壳内设置有隔板，所述隔板将所述外壳内部沿竖直方向分隔成第一腔和第二腔，所述第一腔位于所述第二腔的上方，所述固定支架和所述第一加热组件均设置在所述第一腔内，所述坩埚加热器还包括第二加热组件，所述第二加热组件设置在所述隔板位于所述第二腔内的侧面上，所述第二加热组件用于加热所述坩埚的底面。
5.根据权利要求4所述的坩埚加热器，其特征在于，所述隔板朝向所述加热腔凸出设置有定位凸起，所述隔板朝向所述第二腔的侧面对应所述定位凸
6.根据权利要求1至3任一项所述的坩埚加热器，其特征在于，所述第一加热组件至少包括第一加热件和第二加热件，所述第二加热件设置在所述第一加热件的下方，所述第一加热件用于加热所述坩埚的上部，所述第二加热件用于加热所述坩埚下部，所述第一加热件的加热温度大于所述第二加热件的加热温度。
7.根据权利要求6所述的坩埚加热器，其特征在于，所述固定支架设置有三个，三个所述固定支架间隔并形成有自上向下间隔的第一安装区域和第二安装区域，所述第一安装区域设置有所述第一加热件，所述第二安装区域设置有所述第二加热件和所述隔热支架，所述第一加热件的所述导线穿设于所述隔热支架的所述线槽。
8.根据权利要求7所述的坩埚加热器，其特征在于，所述固定支架和所述隔热支架二者中的一个设置有限位凸部，所述固定支架和所述隔热支架二者中的另一个设置有限位槽，所述限位凸部插设在所述限位槽内，以限位所述隔热支架。
9.根据权利要求6所述的坩埚加热器，其特征在于，所述第一加热件和所述第二加热件均包括多个加热丝，所述加热丝竖直设置在相邻两个所述固定支架之间，且多个所述加热丝沿所述固定支架的周向等间距排布，所述第一加热件的所述加热丝数量大于所述第二加热件的所述加热丝数量。
10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括坩埚和权利要求1至9任一项的坩埚加热器，所述坩埚设置于所述坩埚加热器的加热腔内，所述坩埚包括埚体和喷嘴，所述喷嘴设置于所述埚体的顶面，所述坩埚加热器的外壳包括壳体和可拆卸设置于所述壳体顶部的盖板，所述盖板与所述埚体的顶面抵接，所述盖板上开设有与所述喷嘴连通的开孔。
...【技术特征摘要】
1.一种坩埚加热器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的坩埚加热器，其特征在于，还包括冷却组件，所述冷却组件包括冷却管，所述冷却管螺旋环绕于所述线槽内的所述导线外侧。
3.根据权利要求2所述的坩埚加热器，其特征在于，所述隔热支架包括隔热壳体和导热内壳，所述导热内壳设置在所述隔热壳体内部，所述导热内壳将所述隔热壳体内部分隔成所述线槽和安装空间，所述安装空间位于所述隔热壳体和所述导热内壳之间，所述线槽位于所述导热内壳内部，所述冷却管设置在所述安装空间内。
4.根据权利要求1至3任一项所述的坩埚加热器，其特征在于，所述外壳内设置有隔板，所述隔板将所述外壳内部沿竖直方向分隔成第一腔和第二腔，所述第一腔位于所述第二腔的上方，所述固定支架和所述第一加热组件均设置在所述第一腔内，所述坩埚加热器还包括第二加热组件，所述第二加热组件设置在所述隔板位于所述第二腔内的侧面上，所述第二加热组件用于加热所述坩埚的底面。
5.根据权利要求4所述的坩埚加热器，其特征在于，所述隔板朝向所述加热腔凸出设置有定位凸起，所述隔板朝向所述第二腔的侧面对应所述定位凸起的位置设置有容纳槽，所述容纳槽内设置有第三加热组件。
6.根据权利要求1至3任一项所述的坩埚加热器，其特征在于，所述第一加热组件至少包括第一加热件和第二加热件，所述第二加热件设置在所述第一加热件的下方，所述第一加热...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜金烽，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。