【技术实现步骤摘要】
本公开大体上涉及光学光谱系统和使用方法，且更具体来说，涉及用于从用于光学信号收集的光谱仪和半导体工具控制器收集的实时数据之间的控制的更低时延、增加的可重复性和其它益处的改进的信号处理。
技术介绍
1、半导体工艺的光学监测是用于控制例如蚀刻、沉积、化学机械抛光和注入等工艺的行之有效的方法。光学发射光谱(oes)和干涉测量终点(iep)是用于数据收集的两种基本类型的操作模式。在oes应用中，收集和分析从工艺(通常是从等离子体)发射的光，以识别和跟踪原子和分子物种的改变，所述改变指示被监测工艺的状态或进展。在iep应用中，通常从外部源(例如闪光灯)供应光，且将所述光引导到工件上。在从工件反射之后，发出的光携载呈工件的反射率形式的信息，所述信息指示工件的状态。工件的反射率的提取和建模准许理解膜厚度和特征大小/深度/宽度以及其它性质。
技术实现思路
1、在一个方面中，本公开提供一种处理光谱数据的方法。在一个实例中，所述方法包含：(1)收集一或多个波长上的光学发射光谱数据的时间有序序列，(2)从光学发射光谱数据的所述时间有序序列提取一或多个属性，(3)分析所述一或多个属性的特性，(4)确定所述一或多个属性的调节，(5)根据预定滤波器集合、所述调节和所述特性来处理所述一或多个属性，及(6)基于所述一或多个属性的所述处理而选择用于处理所述光谱数据的滤波器配置。
2、在另一方面中，本公开提供一种控制半导体工艺的方法。在一个实例中，所述控制的方法包含：(1)收集一或多个波长上的光学发射光谱
3、在又一方面中，本公开提供一种计算装置。在一个实例中，所述计算装置包含一或多个处理器，其执行包含以下的操作：(1)收集一或多个波长上的光学发射光谱数据，(2)使用经选择以在确定终点指示时提供最小处理延迟的预选方法来处理所述数据，及(3)基于所述数据的所述处理而更改半导体工艺。
4、在又另一方面中，本公开提供一种计算机程序产品，其具有存储在非暂时性计算机可读媒体上的一系列操作指令，所述非暂时性计算机可读媒体在起始时引导一或多个处理器的操作，由此执行用于处理光谱数据的操作。在一个实例中，所述操作包含：(1)从半导体工艺收集一或多个波长上的光学发射光谱数据的时间有序序列，(2)从光学发射光谱数据的所述时间有序序列提取一或多个属性，(3)分析所述一或多个属性的特性，(4)确定所述一或多个属性的调节，(5)根据预定滤波器集合、所述调节和所述特性来处理所述一或多个属性；及(6)基于所述一或多个属性的所述处理，使用来自所述预定滤波器集合的一或多个滤波器来选择用于处理所述光谱数据的滤波器配置。
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1.一种处理光谱数据的方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述滤波器集合包含单个滤波器。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述滤波器集合包含选自由以下组成的滤波器群组的至少一个滤波器：
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个属性的所述处理包含改变所述滤波器集合中的至少一个滤波器的参数值。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个属性的所述收集、提取、分析、确定和所述处理是实时的。
6.根据权利要求5所述的方法，其中所述滤波器配置包含来自所述预定滤波器集合的滤波器，且所述光谱数据的所述处理是实时的。
7.根据权利要求1所述的方法，其中所述选择是基于在所述一或多个属性的所述处理期间检测所述一或多个属性的一致性和时延。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个属性包含一或多个趋势、一或多个特征或一或多个趋势与一或多个特征的组合。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学发射光谱数据由光谱仪从处理工具接收。
10.根据权利要求1所述的方法，其中
11.一种控制半导体工艺的方法，其包括：
12.根据权利要求11所述的方法，其中所述预选方法通过以下操作来选择：从所述光学发射光谱数据的时间有序序列提取一或多个属性；分析所述一或多个属性的特性；确定所述一或多个属性的调节；根据预定滤波器集合、所述特性和所述调节来处理所述一或多个属性；及基于所述一或多个属性的所述处理而选择所述预选方法。
13.根据权利要求12所述的方法，其中所述一或多个属性包含一或多个趋势、一或多个特征或一或多个趋势与一或多个特征的组合。
14.根据权利要求11所述的方法，其中从所述半导体工艺收集所述光学发射光谱数据。
15.一种计算装置，其包括：
16.根据权利要求15所述的计算装置，其中所述预选方法通过以下操作来选择：从所述光学发射光谱数据的时间有序序列提取一或多个属性；分析所述一或多个属性的特性；确定所述一或多个属性的调节；根据预定滤波器集合、所述特性和所述调节来处理所述一或多个属性；及基于所述一或多个属性的所述处理而选择所述预选方法。
17.根据权利要求15所述的计算装置，其中所述一或多个属性包含一或多个趋势。
18.根据权利要求17所述的计算装置，其中所述一或多个属性进一步包含一或多个特征或所述一或多个趋势与所述一或多个特征的组合。
19.根据权利要求15所述的计算装置，其中所述计算装置为光谱仪。
20.一种计算机程序产品，其具有存储在非暂时性计算机可读媒体上的一系列操作指令，所述非暂时性计算机可读媒体在起始时引导一或多个处理器的操作，由此执行用于处理光谱数据的操作，所述操作包括：
...【技术特征摘要】
1.一种处理光谱数据的方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述滤波器集合包含单个滤波器。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述滤波器集合包含选自由以下组成的滤波器群组的至少一个滤波器：
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个属性的所述处理包含改变所述滤波器集合中的至少一个滤波器的参数值。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个属性的所述收集、提取、分析、确定和所述处理是实时的。
6.根据权利要求5所述的方法，其中所述滤波器配置包含来自所述预定滤波器集合的滤波器，且所述光谱数据的所述处理是实时的。
7.根据权利要求1所述的方法，其中所述选择是基于在所述一或多个属性的所述处理期间检测所述一或多个属性的一致性和时延。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个属性包含一或多个趋势、一或多个特征或一或多个趋势与一或多个特征的组合。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学发射光谱数据由光谱仪从处理工具接收。
10.根据权利要求1所述的方法，其中所述滤波器配置包含来自所述预定滤波器集合的滤波器。
11.一种控制半导体工艺的方法，其包括：
12.根据权利要求11所述的方法，其中所述预选方法通过以下操作来选择：从所述光学发射光谱数据的时间有序序列提取一或多个属性；分析所述一或...
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