温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及用于半导体处理系统的改进的控制。本公开提供具有时延、可重复性、稳定性、信号可检测性和其他益处的改进的光学数据的处理。改进的处理可用于更准确且一致地监测和控制半导体工艺。在一个实例中，处理光谱数据的方法包含：(1)收集一或多个波长上...
该专利属于真实仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过真实仪器公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。