【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英法兰加工设备，具体涉及一种半导体制程石英法兰抛光装置。
技术介绍
1、半导体工艺制程是指数字芯片中，晶体管的栅极宽度，在整个数字芯片中，晶体管的栅极是整个电路中最窄的线条，对于晶体管的连接，需要对应的法兰进行连接，此类的法兰连接件，在电子元件运行时，在保证不影响晶体管连接的同时，需要具有良好的耐热性及绝缘性，因此，石英法兰在半导体工艺中，已成为使用较为广泛的连接件。
2、对于石英法兰的制作过程中，主要采用机械切割法，由于石英法兰原料为石英石，表面难免会出凹凸不平的情况，对于制作完成后的成品体积较小，打磨抛光难度较大，因此，大多都是对胚料整体打磨抛光后，进行切割；
3、传统抛光方式，都是人工通过电动式抛光盘体设备进行操作，传统的抛光设备的抛光盘体为固定安装结构，石英石上存在的瑕疵面积、角度及位置的不同，由于固定式的抛光盘结构大小较为固定，无法针对石英石上特殊位置及角度，实现最佳的抛光效果，同时上述的抛光设备为单盘结构，且大多采用螺丝连接形式，因此，盘体之间切换安装或盘体如有损坏，更换时拆装均较为繁琐，容易耽误打磨的进程。
技术实现思路
1、鉴于上述现有石料抛光设备存在的问题，提出了本技术。
2、因此，本技术目的是提供一种半导体制程石英法兰抛光装置，解决了传动石料抛光设备抛光盘结构及盘体连接结构，造成抛光局限的问题。
3、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
4、一种半导体制程石英法兰抛光装置，包括连接杆，
5、抛光设备，连接于连接杆上，用于对石英法兰的抛光，所述抛光设备由盘座和转动座构成；
6、所述盘座的一端面上固定有电机，所述电机的两侧分布有第一按扣锁，所述盘座的另一端面上设置有抛光盘和第一连接孔，所述第一连接孔与第一按扣锁数量相同、且位置对应，所述抛光盘通过第一连接孔与第一按扣锁锁紧固定；
7、所述转动座上固定有转动杆，所述转动杆贯穿盘座、抛光盘与电机的传动端连接，所述转动座的两侧设置有连接座。
8、优选的，，所述抛光盘呈环形结构，所述抛光盘设有多组，且与第一按扣锁的数量相同，多组所述的抛光盘之间为不同大小的盘体。
9、进一步的，多组所述的抛光盘顶部均设有第一锁紧扣，所述第一锁紧扣位于抛光盘的内环处，且与抛光盘呈一体化结构。
10、进一步的，多组所述抛光盘的两侧内壁上均设置有第二连接孔，多组所述抛光盘的两侧外壁上均设有第二按扣锁，所述第二按扣锁与第二连接孔的位置对应。
11、优选的，所述连接座包括固定座和滑动座，所述滑动座滑动连接于固定座内，所述固定座的两侧分布有限位孔，所述滑动座的两侧设置有弹簧扣，所述弹簧扣与限位孔嵌合连接。
12、优选的，所述滑动座的延伸端上设置有第二锁紧扣，所述第二锁紧扣与第二连接孔位置对应，所述第二锁紧扣通过第二连接孔与第二按扣锁锁紧固定。
13、在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：
14、1、本技术的抛光装置，采用多盘组合连接式结构，抛光盘采用环形结构，不同的抛光盘通过连接座与转动座连接后，快速旋转的过程中，形成圆形抛光面，通过盘体本体及抛光面实现对石英石的抛光，不同抛光盘的切换，可以针对制作石英法兰的原料本体的不同位置、角度进行针对性的抛光，增强了装置本体实用的同时，也提高抛光效果。
15、2、本技术的抛光装置，多盘组合结构，盘体之间均采用独立的扣、锁连接形式，盘体固定及解锁可通过手动即可实现，操作较为方便，为盘体之间的使用、放置提供了便捷性，环体结构的抛光盘可通过中心的孔体，进行叠加放置，也减小了多盘同时固定时，占用的面积。
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1.一种半导体制程石英法兰抛光装置，包括连接杆(1)，所述连接杆(1)上设有电机开关和握杆，其特征在于，还包括，
2.根据权利要求1所述的一种半导体制程石英法兰抛光装置，其特征在于，所述抛光盘(5)呈环形结构，所述抛光盘(5)设有多组，且与第一按扣锁(302)的数量相同，多组所述的抛光盘(5)之间为不同大小的盘体。
3.根据权利要求2所述的一种半导体制程石英法兰抛光装置，其特征在于，多组所述的抛光盘(5)顶部均设有第一锁紧扣(501)，所述第一锁紧扣(501)位于抛光盘(5)的内环处，且与抛光盘(5)呈一体化结构。
4.根据权利要求3所述的一种半导体制程石英法兰抛光装置，其特征在于，多组所述抛光盘(5)的两侧内壁上均设置有第二连接孔，多组所述抛光盘(5)的两侧外壁上均设有第二按扣锁(502)，所述第二按扣锁(502)与第二连接孔的位置对应。
5.根据权利要求1所述的一种半导体制程石英法兰抛光装置，其特征在于，所述连接座(6)包括固定座(601)和滑动座(602)，所述滑动座(602)滑动连接于固定座(601)内，所述固定座(601)
6.根据权利要求5所述的一种半导体制程石英法兰抛光装置，其特征在于，所述滑动座(602)的延伸端上设置有第二锁紧扣(605)，所述第二锁紧扣(605)与第二连接孔位置对应，所述第二锁紧扣(605)通过第二连接孔与第二按扣锁(502)锁紧固定。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体制程石英法兰抛光装置，包括连接杆(1)，所述连接杆(1)上设有电机开关和握杆，其特征在于，还包括，
2.根据权利要求1所述的一种半导体制程石英法兰抛光装置，其特征在于，所述抛光盘(5)呈环形结构，所述抛光盘(5)设有多组，且与第一按扣锁(302)的数量相同，多组所述的抛光盘(5)之间为不同大小的盘体。
3.根据权利要求2所述的一种半导体制程石英法兰抛光装置，其特征在于，多组所述的抛光盘(5)顶部均设有第一锁紧扣(501)，所述第一锁紧扣(501)位于抛光盘(5)的内环处，且与抛光盘(5)呈一体化结构。
4.根据权利要求3所述的一种半导体制程石英法兰抛光装置，其特征在于，多组所述抛光盘(5)的两侧内壁上均设置有第二连接孔，多组所述抛光...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔凡昌，
申请(专利权)人：东海县奥博石英制品有限公司，
类型：新型
国别省市：
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