一种蒸发电极制造技术

技术编号:40131325 阅读:8 留言:0更新日期:2024-01-23 22:11
本技术提供了一种蒸发电极,该装置包括:蒸发电极、套设于所述蒸发电极外侧的绝缘保护罩和套设在所述绝缘保护罩和所述蒸发电极交界处外侧的屏蔽盖,其中,所述屏蔽盖靠近所述安装头,所述屏蔽盖的直径大于所述绝缘保护罩的直径。本技术通过在蒸发电极外侧设置绝缘保护罩,避免了蒸发电极和冷却板之间由于沉积的铝渣而发生短路。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸镀设备,具体涉及一种蒸发电极


技术介绍

1、真空镀膜是将膜材置于真空镀膜室内,通过蒸发源使其加热蒸发。当蒸发分子的平均自由程大于蒸发源与基片间的线尺寸后,蒸发的粒子从蒸发源表面上逸出,在飞向基片表面过程中很少受到其他粒子(主要是残余气体分子)的碰撞阻碍,可直接到达基片表面上凝结而生成薄膜。

2、真空镀膜通常为电阻式加热,将蒸发舟夹持在正负电极之间,将待蒸镀物质放入蒸发舟中,给电极通入电流,电流流经蒸发舟,蒸发舟发热对待蒸镀物质进行蒸发。

3、蒸发电极安装在冷却板的电极孔上,蒸发电极与冷却板之间必须保持绝缘。现有的使蒸发电极和冷却板之间绝缘的方式为使蒸发电极与冷却板的电极孔之间留有缝隙,但是在镀铝过程中,部分铝蒸汽凝结在蒸发电极上,蒸发电极上沉积铝渣过多会导致铝渣与冷却板接触,使冷却板与蒸发电极之间短路,影响蒸发舟的加热进而影响镀膜质量。

4、因此,需要设计一种蒸发电极,解决蒸发电极与冷却板之间短路的问题。

5、综上所述,现有技术中存在以下问题:现有的蒸发电极在镀铝过程中,凝结在蒸发电极上的铝渣过多会导致铝渣与冷却板接触,进而造成蒸发电极与冷却板之间短路的问题。


技术实现思路

1、本技术提供一种蒸发电极,以解决上述现有技术中存在的蒸发电极在镀铝过程中,凝结在蒸发电极上的铝渣过多会导致铝渣与冷却板接触,进而造成蒸发电极与冷却板之间短路的问题。

2、为此,本技术提出一种蒸发电极。

3、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:

4、一种蒸发电极,所述蒸发电极包括:

5、蒸发电极,所述蒸发电极一端设置有安装头;

6、套设于所述蒸发电极外侧的绝缘保护罩,所述绝缘保护罩为圆筒状;

7、套设在所述绝缘保护罩和所述蒸发电极交界处外侧的屏蔽盖,所述屏蔽盖靠近所述安装头,所述屏蔽盖的直径大于所述绝缘保护罩的直径。

8、进一步地,所述屏蔽盖远离所述安装头的一侧设有凹槽,所述绝缘保护罩的一个端部插入所述凹槽内。

9、进一步地,所述绝缘保护罩包括相邻的绝缘耐高温段和绝缘抗老化段,所述绝缘抗老化段远离所述安装头,所述绝缘耐高温段设在所述绝缘抗老化段和所述屏蔽盖之间。

10、进一步地,所述绝缘耐高温段的一侧插入所述凹槽内。

11、进一步地,所述凹槽的深度为1cm~5cm。

12、进一步地,所述屏蔽盖中心开设有能穿过所述安装头的通孔,所述通孔的形状与所述安装头相匹配。

13、进一步地,所述蒸发电极上设有对绝缘抗老化段限位的定位台阶。

14、进一步地,所述安装头上设有对所述绝缘耐高温段定位的定位孔。

15、进一步地,所述绝缘耐高温段的直径≥所述绝缘抗老化段的直径。

16、进一步地,所述蒸发电极远离所述安装头的一端设有蒸发电极进水管和蒸发电极出水管。

17、本技术提供的蒸发电极,绝缘保护罩套设在蒸发电极外侧,以便将蒸发电极与冷却板之间隔开,对蒸发电极进行绝缘保护,避免蒸发电极上沉积的铝渣与冷却板接触导致蒸发电极与冷却板之间短路,影响镀膜效果;屏蔽盖套设在所述绝缘保护罩和所述蒸发电极交界处外侧,对绝缘保护罩和蒸发电极交界处进行屏蔽,蒸镀进行时,铝蒸汽从安装头的一侧向冷却板的一端扩散,将屏蔽盖靠近所述安装头并且设置屏蔽盖的直径大于所述绝缘保护罩的直径,因此屏蔽盖遮挡了大部分铝蒸汽,使得铝渣沉积在屏蔽盖上,进一步避免了绝缘保护罩表面沉积的铝渣与蒸发电极接触造成短路。

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【技术保护点】

1.一种蒸发电极,其特征在于,所述蒸发电极包括:

2.根据权利要求1所述的蒸发电极,其特征在于,所述屏蔽盖(4)远离所述安装头(2)的一侧设有凹槽(5),所述绝缘保护罩(3)的一个端部插入所述凹槽(5)内。

3.根据权利要求2所述的蒸发电极,其特征在于,所述绝缘保护罩(3)包括相邻的绝缘耐高温段(6)和绝缘抗老化段(7),所述绝缘抗老化段(7)远离所述安装头(2),所述绝缘耐高温段(6)设在所述绝缘抗老化段(7)和所述屏蔽盖(4)之间。

4.根据权利要求3所述的蒸发电极,其特征在于,所述绝缘耐高温段(6)的一侧插入所述凹槽(5)内。

5.根据权利要求2所述的蒸发电极,其特征在于,所述凹槽(5)的深度为1cm~5cm。

6.根据权利要求1所述的蒸发电极,其特征在于,所述屏蔽盖(4)中心开设有能穿过所述安装头(2)的通孔(12),所述通孔(12)的形状与所述安装头(2)相匹配。

7.根据权利要求1所述的蒸发电极,其特征在于,所述蒸发电极(1)上设有对绝缘抗老化段(7)限位的定位台阶(11)。

8.根据权利要求3所述的蒸发电极,其特征在于,所述安装头(2)上设有对所述绝缘耐高温段(6)定位的定位孔(8)。

9.根据权利要求3所述的蒸发电极,其特征在于,所述绝缘耐高温段(6)的直径≥所述绝缘抗老化段(7)的直径。

10.根据权利要求1所述的蒸发电极,其特征在于,所述蒸发电极(1)远离所述安装头(2)的一端设有蒸发电极进水管(9)和蒸发电极出水管(10)。

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【技术特征摘要】

1.一种蒸发电极,其特征在于,所述蒸发电极包括:

2.根据权利要求1所述的蒸发电极,其特征在于,所述屏蔽盖(4)远离所述安装头(2)的一侧设有凹槽(5),所述绝缘保护罩(3)的一个端部插入所述凹槽(5)内。

3.根据权利要求2所述的蒸发电极,其特征在于,所述绝缘保护罩(3)包括相邻的绝缘耐高温段(6)和绝缘抗老化段(7),所述绝缘抗老化段(7)远离所述安装头(2),所述绝缘耐高温段(6)设在所述绝缘抗老化段(7)和所述屏蔽盖(4)之间。

4.根据权利要求3所述的蒸发电极,其特征在于,所述绝缘耐高温段(6)的一侧插入所述凹槽(5)内。

5.根据权利要求2所述的蒸发电极,其特征在于,所述凹槽(5)的深度为1cm~5cm。

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【专利技术属性】
技术研发人员:臧世伟刘文卿
申请(专利权)人:深圳金美新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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