一种垂直腔面发射激光器阵列及激光发射器制造技术

技术编号:40123767 阅读:19 留言:0更新日期:2024-01-23 21:03
本发明专利技术提出一种垂直腔面发射激光器阵列及激光发射器,包括:衬底,至少一发光单元,设置在衬底上,且发光单元包括至少两个有源层,且有源层通过隧道结连接。以及绝缘层,设置在衬底上,且覆盖发光单元侧壁。其中,发光单元呈线性排布,以形成垂直腔面发射激光器阵列。其中,垂直腔面发射激光器阵列的长边与短边的比值大于或等于三。本发明专利技术提出的垂直腔面发射激光器阵列及激光发射器减小了发散角。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体激光器,特别涉及一种垂直腔面发射激光器阵列及激光发射器


技术介绍

1、垂直腔面发射激光器(vertical cavity surface emitting laser,vcsel)是以砷化镓等半导体材料为基础研制,有别于发光二极管和激光二极管等其他光源的半导体装置。具有体积小、圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小、价格低廉和易集成为大面积阵列等优点,广泛应用与光通信、光互连、光存储等领域。但是,一般的垂直腔面发射激光器阵列的发散角较大,限制了发光范围,也增加了后期光学设计的复杂度。

2、因此,如何获取小发散角的垂直腔面发射激光器阵列,增加光射范围,并缩小后期光学设计的复杂度已经成为亟需解决的问题。


技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的不足,本申请提出一种垂直腔面发射激光器阵列及激光发射器。本申请将垂直腔面发射激光器阵列设计为一维线性排列结构,通过电流限制层获取发光孔,在短脉冲大电流的工作条件下减小了发散角的直径。本申请提高了光射范围范围,同时也缩小后期光学设计的复杂度。...

【技术保护点】

1.一种垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于,所述发光单元还包括:

3.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于:所述发光单元还包括第一欧姆金属,且所述第一欧姆金属呈环状。

4.根据权利要求3所述的垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于:所述绝缘层上设置有第一电极,且所述第一电极通过所述第一欧姆金属与所述发光单元欧姆接触。

5.根据权利要求3所述的垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于:所述第一欧姆金属为圆环状、椭圆形环状、矩形环状或六边形环状。p>

6.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于,所述发光单元还包括:

3.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于:所述发光单元还包括第一欧姆金属,且所述第一欧姆金属呈环状。

4.根据权利要求3所述的垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于:所述绝缘层上设置有第一电极,且所述第一电极通过所述第一欧姆金属与所述发光单元欧姆接触。

5.根据权利要求3所述的垂直腔面发射激光器阵列,其特征在于:所述第一欧姆金属为圆环状、椭圆形环状、矩形环状或六边形环状。

6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘嵩梁栋张成
申请(专利权)人:常州纵慧芯光半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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