【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，特别是涉及一种激光器阵列及其制备方法。
技术介绍
1、激光雷达（lidar）是一种通过发射激光束并接收其反射信号来测量目标距离和形状的技术。在lidar系统中，vcsel结构的发光区域的设计对于系统性能至关重要。为了提高整体的光输出和系统的可靠性，设计者通常会尽量增大发光面积，从而提高发光区的利用率（fill factor）。
2、然而，在实际的制程中，发光区域的尺寸受到多种因素的限制，包括不同代工厂的设计规则和制程能力，无法对发光区域进行有效利用，影响了发射器的排列紧密度。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对现有技术中的vcsel结构的发光区域的尺寸受到多种因素的限制，无法对发光区域进行有效利用的问题提供一种激光器阵列结构及其制备方法。
2、为了实现上述目的，一方面，本申请提供了一种激光器阵列，包括：
3、衬底；
4、发光层，包括多个发光单元以及至少一连接单元，多个所述发光单元在所述衬底上方间隔排布，所述连接单元连接相邻
【技术保护点】
1.一种激光器阵列，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光器阵列，其特征在于，所述接触单元还包括第二部，且所述第二部沿所述发光单元的周向连接所述第一部，且所述第二部自所述第二部与所述第一部的连接处沿所述发光单元边缘延伸。
3.根据权利要求1所述的激光器阵列，其特征在于，所述第一部远离所述发光单元的一端与邻近的所述发光单元之间间隔设置。
4.根据权利要求1所述的激光器阵列，其特征在于，同一所述发光单元上方排布有多个所述接触单元。
5.根据权利要求1所述的激光器阵列，其特征在于，所述激光器阵列中还设有沟槽，所述沟槽...
【技术特征摘要】
1.一种激光器阵列，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光器阵列，其特征在于，所述接触单元还包括第二部，且所述第二部沿所述发光单元的周向连接所述第一部，且所述第二部自所述第二部与所述第一部的连接处沿所述发光单元边缘延伸。
3.根据权利要求1所述的激光器阵列，其特征在于，所述第一部远离所述发光单元的一端与邻近的所述发光单元之间间隔设置。
4.根据权利要求1所述的激光器阵列，其特征在于，同一所述发光单元上方排布有多个所述接触单元。
5.根据权利要求1所述的激光器阵列，其特征在于，所述激光器阵列中还设有沟槽，所述沟槽将所述发光层隔离成多个所述发光单元。
6.根据权利要求5所述的激光...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄裕轩，翁玮呈，游鹏飞，刘嵩，梁栋，
申请(专利权)人：常州纵慧芯光半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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