玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法制造方法及图纸

本公开涉及一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其是通过沉积以硅氧烷为原料生成的玻璃微粒来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体的制造装置，具备包含对于腐蚀性物质不具有耐腐蚀性的金属而构成的反应容器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法。本申请要求基于2021年12月22日提出的日本申请第2021-208160号的优先权，并且援引了所述日本申请中记载的全部记载内容。

技术介绍

1、在专利文献1中记载了使玻璃微粒沉积在起始材料上的玻璃微粒沉积体的制造方法。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2004-99353号公报

技术实现思路

1、本公开的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置是通过沉积以硅氧烷为原料生成的玻璃微粒来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体的制造装置，

2、具备包含对于腐蚀性物质不具有耐腐蚀性的金属而构成的反应容器。

3、本公开的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造方法是通过沉积以硅氧烷为原料生成的玻璃微粒来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体的制造方法，

4、包括在包含对于腐蚀性物质不具有耐腐蚀性的金属而构成的反应容器内，通过燃烧器使所述硅氧烷发生氧化反应，以生成玻璃微粒的工序。

【技术保护点】

1.一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其是通过沉积以硅氧烷为原料生成的玻璃微粒来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体的制造装置，

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

3.根据权利要求1或权利要求2所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

4.根据权利要求3所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

5.根据权利要求1至权利要求4中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

6.根据权利要求1至权利要求5中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

7.根据权利要求6所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其是通过沉积以硅氧烷为原料生成的玻璃微粒来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体的制造装置，

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

3.根据权利要求1或权利要求2所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

4.根据权利要求3所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：守屋知巳，早川正敏，森田圭省，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：