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本公开涉及一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其是通过沉积以硅氧烷为原料生成的玻璃微粒来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体的制造装置，具备包含对于腐蚀性物质不具有耐腐蚀性的金属而构成的反应容器。...
该专利属于住友电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。

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