一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备制造技术

技术编号:40106463 阅读:21 留言:0更新日期:2024-01-23 18:30
本发明专利技术提供一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备,包括检测平台,所述检测平台上端安装有用于输送MEMS气体传感器模组的输送装置,以及用于检测MEMS气体传感器模组的图像检测装置,所述输送装置包括两条并列设置的输送带,所述输送带为闭合的环形,两条输送带之间安装有限位框,所述输送带第一端设置有第一导向组件,通过第一导向组件形成竖直的检测端;所述图像检测装置包括位于检测端第一侧的第一检测组件,以及位于检测端第二侧的第二检测组件。该发明专利技术能够一次对MEMS气体传感器模组正反两面进行图像检测,并且能够同步调整两侧图像检测的角度范围,提高了图像检测准确性的同时,极大的提高了检测的效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测设备,尤其涉及一种mems气体传感器模组生产用检测设备。


技术介绍

1、mems气体传感器模组体积小、集中度高,灵敏度高,在气体传感领域被广泛应用。

2、mems气体传感器模组机集成化设计,mems气体传感器模组的正面安装有气体检测元件、反面安装有导通控制的脚座,在mems气体传感器模组生产的过程中需要对其正面以及反面均进行图像检测。

3、现有的图像检测设备大多是通过将mems气体传感器模组放置于固定的检测平台上,通过改变检测平台与图像检测元件之间的距离来调整图像检测的范围角度,实现连续检测;但是对于mems气体传感器模组来说,其双面均需要检测,通过上述传统的检测设备进行检测,检测过程需要多步骤的先后进行,且需要人工或者机械设备对mems气体传感器模组检测状态进行翻面调整,检测效率受限。


技术实现思路

1、针对上述问题,本专利技术提供一种mems气体传感器模组生产用检测设备,该专利技术能够一次对mems气体传感器模组正反两面进行图像检测,并且能够同步调整两侧图像检测的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备,包括检测平台(100),所述检测平台(100)上端安装有用于输送MEMS气体传感器模组的输送装置(200),以及用于检测MEMS气体传感器模组的图像检测装置(300),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备,其特征在于,所述第一导向组件(230)包括第一导向轮(231)以及第二导向轮(232),所述检测平台(100)上端设置有第一限位组件(110)用于安装第一导向组件(230),所述第一限位组件(110)包括与检测平台(100)上端固定连接的第一定位座(111),所述第一定位座(111)上端...

【技术特征摘要】

1.一种mems气体传感器模组生产用检测设备,包括检测平台(100),所述检测平台(100)上端安装有用于输送mems气体传感器模组的输送装置(200),以及用于检测mems气体传感器模组的图像检测装置(300),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种mems气体传感器模组生产用检测设备,其特征在于,所述第一导向组件(230)包括第一导向轮(231)以及第二导向轮(232),所述检测平台(100)上端设置有第一限位组件(110)用于安装第一导向组件(230),所述第一限位组件(110)包括与检测平台(100)上端固定连接的第一定位座(111),所述第一定位座(111)上端安装有导向滑轨(112),所述导向滑轨(112)内滑动设置有用于安装第一导向轮(231)、第二导向轮(232)的第一安装架(113),从外侧控制第一安装架(113)移动以带动第一导向组件(230)、限位框(220)移动。

3.根据权利要求2所述的一种mems气体传感器模组生产用检测设备,其特征在于,通过输送带(210)控制对应的限位框(220)移动至检测端处于竖直状态后,从外侧控制第一安装架(113)移动以带动第一导向组件(230)、限位框(220)移动。

4.根据权利要求1所述的一种mems气体传感器模组生产用检测设备,其特征在于,所述输送带(210)第二端设置有第二导向组件(240),通过第二导向组件(240)形成竖直的供料端,所述第二导向组件(240)相对于检测平台(100)滑动且二者之间设置有弹性组件,所述供料端内部安装有供料装置(400)实现mems气体传感器模组的上下料。

5.根据权利要求4所述的一种mems气体传感器模组生产用检测设备,其特征在于,所述供料装置(400)包括位于供料端内与输送带(210)位置对应的上料组件(410)以及下料组件(420),上料组件(410)以及下料组件(420)朝向...

【专利技术属性】
技术研发人员:温剑锐卜华生王卫毅李万张英宏王小军
申请(专利权)人:深圳市天地通电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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