固态图像拾取装置及其制造方法、以及电子设备制造方法及图纸

本文公开了固态图像拾取装置及其制造方法、以及电子设备。一种固态图像拾取装置包括：沟槽，其形成在光接受部分上方的绝掩模中；第一波导核心部分，其设置在所述沟槽的内壁侧上；第二波导核心部分，其隔着所述第一波导核心部分填充在所述沟槽中；矩形透镜，其由与所述第二波导核心部分相同的材料形成，并且与所述第二波导核心部分一体地设置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及固态图像拾取装置、制造固态图像拾取装置的方法以及电子设备。更 具体而言，本专利技术涉及在光接收部分上方的绝缘膜中具有光波导的固态图像拾取装置、制 造固态图像拾取装置的方法以及电子设备。
技术介绍
由于作为处于光接收部分的中心的元件的单元的小型化，固态图像拾取装置的采 光能力降低。因此，过去以来，固态图像拾取装置业已采用了将光波导设置在光接收部分 上方的结构。此外，为了进一步增强采光能力，特别是为了改善视场角依赖性和F-值依赖 性，业已想到了在光波导设置的上端设置透镜能力的结构。例如，参见日本专利早期公开 No.2008-91771 和 No. 2006-49825。
技术实现思路
但是，相关技术具有如下问题。随着单元尺寸减小，球透镜(折射型)导致采光的 限制。具体地，难以采集长波长一侧的光。此外，如果想要由设置在光波导的上端处的透镜 执行光瞳校正，则发生如下的问题由于相邻单元之间的间隙的问题，现有的结构不能实现 充分的光瞳校正。因此，期望即使光接受部分的尺寸减小，也可以有效地将光引入到光波导，并且将 其导向光接受部分。根据本专利技术的实施例，提供了一种固态图像拾取装置，包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固态图像拾取装置，包括：沟槽，其形成在光接受部分上方的绝缘膜中；第一波导核心部分，其设置在所述沟槽的内壁侧上；第二波导核心部分，其隔着所述第一波导核心部分填充在所述沟槽中；以及矩形透镜，其由与所述第二波导核心部分相同的材料形成，并且与所述第二波导核心部分一体地设置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：荻野明子，狭山征博，胜谷隆之，下地诚也，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：JP