【技术实现步骤摘要】
【】本技术涉及隔热保温，尤其涉及一种用于真空设备的隔热保温装置。
技术介绍
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技术介绍
1、现有真空设备为了使基板保持在合适的温度，加热器消耗的电能过大，原因是腔体的保温性能弱，加热板产生的热量通过传导、辐射和对流的方式到达上腔壁、下腔壁，以及和腔体的侧壁，通过上腔壁、下腔壁，以及腔体的侧壁传导至外侧壁，接着外侧壁通过传导、辐射和对流的方式消耗热量，使得热量大量地被浪费。
2、因此，有必要研究一种用于真空设备的隔热保温装置来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。
技术实现思路
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技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种用于真空设备的隔热保温装置，隔热保温装置包括位于真空腔体内至少一个隔热保温板，该隔热保温板用于隔断热量从隔热保温板一侧直接传导至另一侧的通路，从而起到隔热保温的作用。
2、一方面，本技术提供了一种用于真空设备的隔热保温装置，所述隔热保温装置包括位于真空腔体内至少一个隔热保温板，所述隔热保温板包括：金属外...
【技术保护点】
1.一种用于真空设备的隔热保温装置，所述隔热保温装置包括位于真空腔体内至少一个隔热保温板，其特征在于，所述隔热保温板包括：金属外壳和隔热填充单元，所述隔热填充单元设置在金属外壳内，所述隔热填充单元为隔热材料，所述金属外壳为金属板围成的封闭或半封闭结构。
2.根据权利要求1所述的隔热保温装置，其特征在于，所述金属外壳为金属板围成的封闭结构，所述金属板通过真空焊接工艺焊接成一体，内部压力在0.01Torr-100Torr范围。
3.根据权利要求1所述的隔热保温装置，其特征在于，所述金属外壳为金属板围成的半封闭结构，所述金属外壳上还设置开口，且通过所...
【技术特征摘要】
1.一种用于真空设备的隔热保温装置，所述隔热保温装置包括位于真空腔体内至少一个隔热保温板，其特征在于，所述隔热保温板包括：金属外壳和隔热填充单元，所述隔热填充单元设置在金属外壳内，所述隔热填充单元为隔热材料，所述金属外壳为金属板围成的封闭或半封闭结构。
2.根据权利要求1所述的隔热保温装置，其特征在于，所述金属外壳为金属板围成的封闭结构，所述金属板通过真空焊接工艺焊接成一体，内部压力在0.01torr-100torr范围。
3.根据权利要求1所述的隔热保温装置，其特征在于，所述金属外壳为金属板围成的半封闭结构，所述金属外壳上还设置开口，且通...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘亚南，蒋建新，孙健，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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