【技术实现步骤摘要】
【】本技术涉及隔热保温，尤其涉及一种真空隔热保温腔体。
技术介绍
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技术介绍
1、真空设备内部安装有加热器，对待镀膜载板进行加热，一方面可以去除载板在外界携带的水汽，另一方面也使得载板上的硅片达到工艺温度，为制程做准备。现有真空设备中，为了使载板保持在合适的温度，加热器消耗的电能过大，原因是腔体的保温性能弱，加热板产生的热量通过传导、辐射和对流的方式到达腔体的所有内侧壁，通过腔体的内侧壁传导至外侧壁，接着外侧壁通过传导、辐射和对流的方式消耗热量，使得热量大量地被浪费。
2、因此，有必要研究一种真空隔热保温腔体来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。
技术实现思路
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技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种真空隔热保温腔体，可减少热量损失，从而达到保温的目的。
2、一方面，本技术提供一种真空隔热保温腔体，所述真空隔热保温腔体包括加热结构和设置在腔壁上的隔热保温结构，所述隔热保温结构由位于腔壁上的凹槽、填充所述凹槽内的隔...
【技术保护点】
1.一种真空隔热保温腔体，其特征在于，所述真空隔热保温腔体包括加热结构和设置在腔壁上的隔热保温结构，所述隔热保温结构包括位于腔壁上的凹槽、填充所述凹槽内的隔热层，以及所述凹槽上的封板；所述腔壁包括上腔壁、侧壁，以及下腔壁中的至少一个。
2.根据权利要求1所述真空隔热保温腔体，其特征在于，所述隔热层为气凝胶。
3.根据权利要求1所述真空隔热保温腔体，其特征在于，所述腔壁和封板均为金属材料。
4.根据权利要求1所述真空隔热保温腔体，其特征在于，所述真空隔热保温腔体还包括互联管道；所述隔热保温结构上设置有连通孔，至少两个所述隔热保温结构上...
【技术特征摘要】
1.一种真空隔热保温腔体，其特征在于，所述真空隔热保温腔体包括加热结构和设置在腔壁上的隔热保温结构，所述隔热保温结构包括位于腔壁上的凹槽、填充所述凹槽内的隔热层，以及所述凹槽上的封板；所述腔壁包括上腔壁、侧壁，以及下腔壁中的至少一个。
2.根据权利要求1所述真空隔热保温腔体，其特征在于，所述隔热层为气凝胶。
3.根据权利要求1所述真空隔热保温腔体，其特征在于，所述腔壁和封板均为金属材料。
4.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋建新，孙健，刘亚南，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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