一种叠层衍射位置校正成像方法、系统及电子设备技术方案

技术编号:40095228 阅读:27 留言:0更新日期:2024-01-23 16:50
本发明专利技术属于相干衍射成像相关技术领域,其公开了一种叠层衍射位置校正成像方法、系统及电子设备,其中所述方法包括:对于运动平台的每一个扫描位置坐标,通过粒子群算法以计算的衍射光场强度信息与采集的衍射光场强度信息之间差值最小为最优值,迭代更新得到运动平台更新后的整像素位置坐标;计算运动平台更新后的每一个整像素位置坐标的衍射出口波更新前后的互相关峰位置,不断搜索更新照射探针位置得到运动平台更新后的亚像素位置坐标;计算照射探针和待测样品的复振幅函数,由此重构待测样品和照射探针的幅值相位。本发明专利技术通过对粒子群位置校正方法与互相关位置校正方法有效结合,提高了位置校正算法的收敛速度,同时最终精度也得到了保证。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于相干衍射成像相关,更具体地,涉及一种叠层衍射位置校正成像方法、系统及电子设备


技术介绍

1、随着科学技术的不断探索,大家对成像质量的要求也随之提升。相干衍射成像(coherent diffractive imaging,cdi)作为一种无透镜成像技术可以有效的克服传统显微镜透镜组所带来的误差,但其实验过程中仅记录了衍射强度信息,丢失了样本自身的相位信息。然而,只要照明探针满足一定的相干条件,通过对待测样本进行精细化采样,即可恢复出待测样本的相位信息,相位恢复问题成为了计算成像的核心。

2、ptychography作为cdi技术中重要的分支,其算法核心思想是要求照明探针所扫描的相邻区域有满足一定重叠率的区域,重叠区域内待测样本复振幅函数的一致性形成约束条件,使得相位恢复算法快速收敛。理论上运用迭代投影算法可以解决相位恢复问题。ptychography重构待测样本幅值相位信息一大优势即可以得到较大的视场。照明探针与待测样本之间的相对移动过程即为大视场产生的条件,照明探针移动精度直接与待测样本的幅值相位信息重构有着重要关系。因此,位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种叠层衍射位置校正成像方法,其中待测样品在运动平台的带动下按照预设曲线做二维平面运动的过程中,照射探针与待测样品相互耦合,并通过相机采集待测样品的衍射光场强度信息,其特征在于,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的叠层衍射位置校正成像方法,其特征在于,S1得到所述运动平台更新后的整像素位置坐标具体包括:

3.如权利要求2所述的叠层衍射位置校正成像方法,其特征在于,所述下一次迭代时位置更新的距离v以及所述运动平台更新后的整像素位置坐标r′通过如下方式计算:

4.如权利要求1所述的叠层衍射位置校正成像方法,其特征在于,S1还包括:

5.如...

【技术特征摘要】

1.一种叠层衍射位置校正成像方法,其中待测样品在运动平台的带动下按照预设曲线做二维平面运动的过程中,照射探针与待测样品相互耦合,并通过相机采集待测样品的衍射光场强度信息,其特征在于,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的叠层衍射位置校正成像方法,其特征在于,s1得到所述运动平台更新后的整像素位置坐标具体包括:

3.如权利要求2所述的叠层衍射位置校正成像方法,其特征在于,所述下一次迭代时位置更新的距离v以及所述运动平台更新后的整像素位置坐标r′通过如下方式计算:

4.如权利要求1所述的叠层衍射位置校正成像方法,其特征在于,s1还包括:

5.如权利要求4所述的叠层衍射位置校正成像方法,其特征在于,具体地,在计算的衍射光场强度信息与相机采集的衍射光场强度信息之间的均方根误差mse<a时,完成迭代;

6.如权利要求1所述的叠层衍射位置校正成像方法,其特征在于,s2中计算...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘世元谷洪刚钟磊刘力李仲禹马骏
申请(专利权)人:华中科技大学
类型:发明
国别省市:

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