一种ALD设备的舱室结构制造技术

本技术公开了一种ALD设备的舱室结构，其包括舱体与舱盖，所述舱盖能够相对于所述舱体开闭；还包括能够进出所述舱体的平移机构以及用于装载电池硅片的载具；所述平移机构包括平移架，所述舱盖相对于所述平移架固定安装；所述平移架能够相对于所述舱体平移，以带着所述载具进出所述舱体，且随着所述载具完全进入所述舱体，所述舱盖相对于所述舱体闭合；所述载具能够脱离所述平移架；所述载具由多个层叠排列的载板构成，所述载板用于承载电池硅片。本技术的ALD设备的舱室结构，通过驱动平移架往复运动，即可实现舱盖的开闭以及载具的进出，可避免复杂的控制流程，且提升系统的执行效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ald设备的部件，特别是涉及一种ald设备的舱室结构。

技术介绍

1、在太阳能电池的生产过程中，需要对电池硅片进行镀膜，镀膜作业需要用到ald设备，ald设备具有镀膜舱室，其作业时，将待镀膜的硅片放入镀膜舱室，并向镀膜舱室内注入气体，气体向硅片的表面沉积形成镀膜。现有的ald设备的舱室结构是独立的，进出物料的流程复杂，取出物料时需要将舱门打开、移出已镀膜物料、取走已镀膜物料、放上待镀膜物料、移入物料以及关闭舱门，整个过程效率较低，影响生产效率。

技术实现思路

1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种结构设计合理，控制方便，能够提升生产效率的ald设备的舱室结构。

2、技术方案：为实现上述目的，本技术的一种ald设备的舱室结构，其包括舱体与舱盖，所述舱盖能够相对于所述舱体开闭；还包括能够进出所述舱体的平移机构以及用于装载电池硅片的载具；

3、所述平移机构包括平移架，所述舱盖相对于所述平移架固定安装；所述平移架能够相对于所述舱体平移，以带着所述载具进出所述舱体，且随着所述载具完全进入所述舱体，所述舱盖相对于所述舱体闭合；

4、所述载具能够脱离所述平移架；所述载具由多个层叠排列的载板构成，所述载板用于承载电池硅片。

5、进一步地，所述平移机构还包括平移执行模组，所述平移执行模组能够驱动所述平移架平移。

6、进一步地，所述舱盖上固定有驱动架，所述平移执行模组连接所述驱动架；所述平移执行模组置于所述舱体的下方。

7、进一步地，所述舱体为圆筒形，所述载板为方形结构，使得所述载具整体为长方体结构。

8、进一步地，所述舱体内安装有定位机构，所述定位机构包括四个对称布局的l形构件。

9、进一步地，所述载板上具有用于容置电池硅片的容置槽。

10、进一步地，所述容置槽为贯穿所述载板的镂空结构，且所述容置槽的槽壁上安装有l形的托体；同一所述容置槽内容置两个电池硅片，两个电池硅片背侧相抵靠，且所述托体托住在下的所述电池硅片的边缘。

11、进一步地，所述载板的边缘位置具有销孔；所述载具中所有所述载板的所述销孔均串套在插销上。

12、有益效果：本技术的ald设备的舱室结构，通过驱动平移架往复运动，即可实现舱盖的开闭以及载具的进出，可避免复杂的控制流程，且提升系统的执行效率。

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【技术保护点】

1.一种ALD设备的舱室结构，其包括舱体(1)与舱盖(2)，所述舱盖(2)能够相对于所述舱体(1)开闭；还包括能够进出所述舱体的平移机构(3)以及用于装载电池硅片(a)的载具(4)；其特征在于：

2.根据权利要求1所述的ALD设备的舱室结构，其特征在于，所述平移机构(3)还包括平移执行模组(32)，所述平移执行模组(32)能够驱动所述平移架(31)平移。

3.根据权利要求2所述的ALD设备的舱室结构，其特征在于，所述舱盖(2)上固定有驱动架(33)，所述平移执行模组(32)连接所述驱动架(33)；所述平移执行模组(32)置于所述舱体(1)的下方。

4.根据权利要求1所述的ALD设备的舱室结构，其特征在于，所述舱体(1)为圆筒形，所述载板(41)为方形结构，使得所述载具(4)整体为长方体结构。

5.根据权利要求4所述的ALD设备的舱室结构，其特征在于，所述舱体(1)内安装有定位机构(5)，所述定位机构(5)包括四个对称布局的L形构件(51)。

6.根据权利要求5所述的ALD设备的舱室结构，其特征在于，所述载板(41)上具有用于容置电池硅片(a)的容置槽(41a)。

7.根据权利要求6所述的ALD设备的舱室结构，其特征在于，所述容置槽(41a)为贯穿所述载板(41)的镂空结构，且所述容置槽(41a)的槽壁上安装有L形的托体(41b)；同一所述容置槽(41a)内容置两个电池硅片(a)，两个电池硅片(a)背侧相抵靠，且所述托体(41b)托住在下的所述电池硅片(a)的边缘。

8.根据权利要求6所述的ALD设备的舱室结构，其特征在于，所述载板(41)的边缘位置具有销孔(41c)；所述载具(4)中所有所述载板(41)的所述销孔(41c)均串套在插销上。

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【技术特征摘要】

1.一种ald设备的舱室结构，其包括舱体(1)与舱盖(2)，所述舱盖(2)能够相对于所述舱体(1)开闭；还包括能够进出所述舱体的平移机构(3)以及用于装载电池硅片(a)的载具(4)；其特征在于：

2.根据权利要求1所述的ald设备的舱室结构，其特征在于，所述平移机构(3)还包括平移执行模组(32)，所述平移执行模组(32)能够驱动所述平移架(31)平移。

3.根据权利要求2所述的ald设备的舱室结构，其特征在于，所述舱盖(2)上固定有驱动架(33)，所述平移执行模组(32)连接所述驱动架(33)；所述平移执行模组(32)置于所述舱体(1)的下方。

4.根据权利要求1所述的ald设备的舱室结构，其特征在于，所述舱体(1)为圆筒形，所述载板(41)为方形结构，使得所述载具(4)整体为长方体结构。

5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张良，陈颖敏，
申请(专利权)人：苏州金沐智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：