用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其包括多个层叠设置的板状载体；板状载体上具有定位部；硅片载具还包括与定位部配合使用，以使所有板状载体上下对正的定位件；板状载体上能够安放多种不同规格的电池硅片，当板状载体上电池硅片的数量为多个时，所有电池硅片在板状载体上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的电池硅片之间具有间隙。本实用新型专利技术的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，一方面，板状载体对不同规格的电池硅片具有很好的兼容性，长度大至2m，小至182mm的电池硅片均能够安放在板状载体上进行镀膜处理；另一方面，将很多板状载体层叠放置，并一起放置到镀膜设备的腔室中，可提升效率。可提升效率。可提升效率。

【技术实现步骤摘要】
用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具


[0001]本技术涉及硅片镀膜工具
，特别是涉及一种用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具。

技术介绍

[0002]在光伏行业中，对太阳能电池的电池硅片进行钙钛矿镀膜是一道重要的工序，钙钛矿具有高吸光系数，能够明显增加光电转换效率。在对电池硅片进行镀膜的过程中，需要将电池硅片装载在载具上送到镀膜腔室内，镀膜作业开始后，镀膜腔室内的气体向电池硅片的表面沉积，形成镀膜。现有技术中，专利CN214458312U公开了一种电池载具及具有其的镀膜设备，这种电池载具中，电池硅片层叠放置在载具中，载具可以带着很多电池硅片一起进入镀膜腔室进行镀膜作业，但是该载具只能适用于一种尺寸的电池硅片，其对电池硅片的兼容性很差，需要针对各种不同规格的电池硅片定制载具，成本高且使用管理均较复杂。

技术实现思路

[0003]专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种尺寸兼容性好、方便进行批量镀膜作业的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具。
[0004]技术方案：为实现上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，其包括多个层叠设置的板状载体(1)；所述板状载体(1)上具有定位部(11)；所述硅片载具还包括与所述定位部(11)配合使用，以使所有所述板状载体(1)上下对正的定位件(2)；所述板状载体(1)上能够安放多种不同规格的电池硅片，当所述板状载体(1)上电池硅片的数量为多个时，所有所述电池硅片在所述板状载体(1)上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的所述电池硅片之间具有间隙。2.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述定位部(11)为定位孔或定位槽，所述定位部(11)位于所述板状载体(1)的边缘或角落位置处；对应于所述定位孔或定位槽，所述定位件(2)为定位销或定位块。3.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述板状载体(1)上能够放置长度为182mm
‑
2m的电池硅片。4.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述板状载体(1)包括载体框架(12)与载板(13)；所述定位部(11)设置在所述载体框架(12)上；所述载体框架(12)的前、后内壁均具有滑槽(12a)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张良，陈颖敏，
申请(专利权)人：苏州金沐智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：