用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其包括多个层叠设置的板状载体；板状载体上具有定位部；硅片载具还包括与定位部配合使用，以使所有板状载体上下对正的定位件；板状载体上能够安放多种不同规格的电池硅片，当板状载体上电池硅片的数量为多个时，所有电池硅片在板状载体上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的电池硅片之间具有间隙。本实用新型专利技术的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，一方面，板状载体对不同规格的电池硅片具有很好的兼容性，长度大至2m，小至182mm的电池硅片均能够安放在板状载体上进行镀膜处理；另一方面，将很多板状载体层叠放置，并一起放置到镀膜设备的腔室中，可提升效率。可提升效率。可提升效率。

【技术实现步骤摘要】
用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具


[0001]本技术涉及硅片镀膜工具
，特别是涉及一种用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具。

技术介绍

[0002]在光伏行业中，对太阳能电池的电池硅片进行钙钛矿镀膜是一道重要的工序，钙钛矿具有高吸光系数，能够明显增加光电转换效率。在对电池硅片进行镀膜的过程中，需要将电池硅片装载在载具上送到镀膜腔室内，镀膜作业开始后，镀膜腔室内的气体向电池硅片的表面沉积，形成镀膜。现有技术中，专利CN214458312U公开了一种电池载具及具有其的镀膜设备，这种电池载具中，电池硅片层叠放置在载具中，载具可以带着很多电池硅片一起进入镀膜腔室进行镀膜作业，但是该载具只能适用于一种尺寸的电池硅片，其对电池硅片的兼容性很差，需要针对各种不同规格的电池硅片定制载具，成本高且使用管理均较复杂。

技术实现思路

[0003]专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种尺寸兼容性好、方便进行批量镀膜作业的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具。
[0004]技术方案：为实现上述目的，本技术的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其包括多个层叠设置的板状载体；
[0005]所述板状载体上具有定位部；所述硅片载具还包括与所述定位部配合使用，以使所有所述板状载体上下对正的定位件；
[0006]所述板状载体上能够安放多种不同规格的电池硅片，当所述板状载体上电池硅片的数量为多个时，所有所述电池硅片在所述板状载体上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的所述电池硅片之间具有间隙。
[0007]进一步地，所述定位部为定位孔或定位槽，所述定位部位于所述板状载体的边缘或角落位置处；对应于所示定位孔或定位槽，所述定位件为定位销或定位块。
[0008]进一步地，所述板状载体上能够放置长度为182mm
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2m的电池硅片。
[0009]进一步地，所述板状载体包括载体框架与载板；所述定位部设置在所述载体框架上；所述载体框架的前、后内壁均具有滑槽，所述载板的前、后边缘嵌入所述滑槽并能够相对于所述滑槽滑动。
[0010]进一步地，所述载板的左边缘具有第一减薄部，所述载板的右边缘具有第二减薄部，所述第二减薄部上具有阵列排布的通孔；相邻的两个所述载板中，其中一者的所述第一减薄部与另一者的所述第二减薄部交叠设置，所述载板相对于所述框架滑动，能够使所述第一减薄部对所述通孔进行遮挡或者解除对所述通孔的遮挡。
[0011]进一步地，所述载板的左边缘的下端固定有压条，所述第二减薄部置于所述第一减薄部与所述压条之间。
[0012]进一步地，所述第二减薄部的边缘具有挡边。
[0013]进一步地，所述载体框架上安装有能够顶住所述载板的边缘的顶丝。
[0014]有益效果：本技术的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，一方面，板状载体对不同规格的电池硅片具有很好的兼容性，长度大至2m，小至182mm的电池硅片均能够安放在板状载体上进行镀膜处理；另一方面，将很多板状载体层叠放置，并一起放置到镀膜设备的腔室中进行镀膜作业，可提升效率。在优选的实施例中，可以通过滑动载板以适应不同规格的电池硅片，并使板状载体中具有未被遮挡的通孔，以使镀膜更均匀。
附图说明
[0015]图1为用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具的整体结构图；
[0016]图2为载有第一种规格的电池硅片的板状载体的结构图；
[0017]图3为载有第二种规格的电池硅片的板状载体的结构图；
[0018]图4为载板的结构图；
[0019]图5为板状载体的第一剖视结构图；
[0020]图6为板状载体的第二剖视结构图。
[0021]图中：1
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板状载体；11
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定位部；12
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载体框架；12a
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滑槽；13
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载板；13a
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第一减薄部；13b
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第二减薄部；13c
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通孔；13d
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挡边；14
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压条；15
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顶丝；2
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定位件。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术作更进一步的说明。
[0023]如图1所示的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其包括多个层叠设置的板状载体1；所述板状载体1上具有定位部11；所述硅片载具还包括与所述定位部11配合使用，以使所有所述板状载体1上下对正的定位件2；如图2
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3所示，所述板状载体1上能够安放多种不同规格的电池硅片，当所述板状载体1上电池硅片的数量为多个时，所有所述电池硅片在所述板状载体1上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的所述电池硅片之间具有间隙，如此电池硅片之间不会相互影响。所述板状载体1上能够放置长度为182mm
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2m的电池硅片。
[0024]所述定位部11为定位孔或定位槽，所述定位部11位于所述板状载体1的边缘或角落位置处；对应于所示定位孔或定位槽，所述定位件2为定位销或定位块。图示实施例中，定位部11为定位孔，定位件2为定位销。
[0025]采用上述结构，一方面，板状载体1对不同规格的电池硅片具有很好的兼容性，长度大至2m，小至182mm的电池硅片均能够安放在板状载体1上进行镀膜处理；另一方面，将很多板状载体1层叠放置，并一起放置到ALD设备的腔室中进行镀膜作业，可提升效率。
[0026]具体地，如图2所示，所述板状载体1包括载体框架12与载板13；所述定位部11设置在所述载体框架12上；如图5所示，所述载体框架12的前、后内壁均具有滑槽12a，所述载板13的前、后边缘嵌入所述滑槽12a并能够相对于所述滑槽12a滑动。
[0027]如图4所示，所述载板13的左边缘具有第一减薄部13a，所述载板13的右边缘具有第二减薄部13b，所述第二减薄部13b上具有阵列排布的通孔13c；相邻的两个所述载板13中，其中一者的所述第一减薄部13a与另一者的所述第二减薄部13b交叠设置，所述载板13相对于所述框架12滑动，能够使所述第一减薄部13a对所述通孔13c进行遮挡或者解除对所
述通孔13c的遮挡。当第一减薄部13a不对通孔13c进行遮挡时，进行镀膜作业时，镀膜腔室内的气体能够穿过通孔13c，气体更均匀地向电池硅片的表面沉积，形成均匀的镀膜。当第一减薄部13a对通孔13c进行遮挡时(如图6的左侧所示)，相邻的载板13拼合成一个更大的载板，以方便放置更大面积的电池硅片，也即如图3中电池硅片跨过多个载板13时，电池硅片下方的载板13都是相互拼合状态，对应的接缝处的通孔13c为非遮挡状态(如图6的右侧所示)。
[0028]优选地，如图6所示，所述载板13的左边缘的下端固定有压条14，所述第二减薄部13b置于所述第一减薄部13本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，其包括多个层叠设置的板状载体(1)；所述板状载体(1)上具有定位部(11)；所述硅片载具还包括与所述定位部(11)配合使用，以使所有所述板状载体(1)上下对正的定位件(2)；所述板状载体(1)上能够安放多种不同规格的电池硅片，当所述板状载体(1)上电池硅片的数量为多个时，所有所述电池硅片在所述板状载体(1)上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的所述电池硅片之间具有间隙。2.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述定位部(11)为定位孔或定位槽，所述定位部(11)位于所述板状载体(1)的边缘或角落位置处；对应于所述定位孔或定位槽，所述定位件(2)为定位销或定位块。3.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述板状载体(1)上能够放置长度为182mm
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2m的电池硅片。4.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述板状载体(1)包括载体框架(12)与载板(13)；所述定位部(11)设置在所述载体框架(12)上；所述载体框架(12)的前、后内壁均具有滑槽(12a)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张良，陈颖敏，
申请(专利权)人：苏州金沐智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：