【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于抛光机，特别是涉及一种双工位单晶碳化硅抛光机。
技术介绍
1、针对单晶碳化硅使用的抛光机，工件处于研磨盘上占用抛光盘的抛光面积恒定，且由于工件与抛光盘偏心，处于抛光盘的表面外周位置，且由于抛光盘外周相比于内周转速较快，易造成抛光盘表面磨损程度不均的问题，影响抛光效果需要修盘或更换，且频次较高，影响抛光效率，因此设计出可减少抛光盘更换频次且能够抛光均匀的抛光机是本领域工作人员需要解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种双工位单晶碳化硅抛光机，通过设计新型的压料龙门架，其中中空轴具备转动、升降和左右滑移的作用，从而可带动两个抛头和工件的转动和滑移，从而极大程度增加了工件和铜盘之间的接触面积，最大限度确保铜盘的使用寿命，减少更换修盘频次，确保抛光的均匀性，同时提高了对工件的抛光效果，提高了设备的工作效率。
2、为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：
3、本专利技术为一种双工位单晶碳化硅抛光机，包括床身、压料龙门架和修盘机
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【技术保护点】
1.一种双工位单晶碳化硅抛光机，其特征在于：包括床身(1)、压料龙门架(2)和修盘机构(3)；
2.根据权利要求1所述的一种双工位单晶碳化硅抛光机，其特征在于，所述主轴机构(4)包括主轴(401)和减速器(402)，所述主轴(401)贯穿接液槽(101)且与接液槽(101)转动连接，所述减速器(402)固定在床身(1)内，所述减速器(402)输入端连接有电机，所述减速器(402)输出端通过皮带和皮带轮与主轴(401)底端传动连接。
3.根据权利要求1所述的一种双工位单晶碳化硅抛光机，其特征在于，所述座板(6)底面、床身(1)顶面且位于接液槽(1...
【技术特征摘要】
1.一种双工位单晶碳化硅抛光机，其特征在于：包括床身(1)、压料龙门架(2)和修盘机构(3)；
2.根据权利要求1所述的一种双工位单晶碳化硅抛光机，其特征在于，所述主轴机构(4)包括主轴(401)和减速器(402)，所述主轴(401)贯穿接液槽(101)且与接液槽(101)转动连接，所述减速器(402)固定在床身(1)内，所述减速器(402)输入端连接有电机，所述减速器(402)输出端通过皮带和皮带轮与主轴(401)底端传动连接。
3.根据权利要求1所述的一种双工位单晶碳化硅抛光机，其特征在于，所述座板(6)底面、床身(1)顶面且位于接液槽(101)外周的位置均固定有环轨(102)，两所述环轨(102)之间的后侧固定有固定板(103)，两所述环轨(102)之间的前侧滑动连接有一组弧形门(104)，所述弧形门(104)和固定板(103)均为亚克力玻璃板。
4.根据权利要求2所述的一种双工位单晶碳化硅抛光机，其特征在于，所述冷却盘(5)包括上盘体(507)和下盘体(508)，所述上盘体(507)和下盘体(508)由紧固件可拆卸的连接，所述主轴(401)顶端固定在下盘体(508)底面轴心处，所述连接口(501)设置在上盘体(507)的轴心处，所述进液口(502)与主轴(401)位置错位。
5.根据权利要求4所述的一种双工位单晶碳化硅抛光机，其特征在于，所述上盘体(507)底...
【专利技术属性】
技术研发人员：王守志，徐乃龙，
申请(专利权)人：无锡鑫磊精工科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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