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本发明公开了一种双工位单晶碳化硅抛光机，涉及抛光机技术领域。本发明包括床身、压料龙门架和修盘机构，床身顶部固定有接液槽，接液槽轴心处设有主轴机构，主轴机构输出端固定有冷却盘，冷却盘顶部固定有铜盘，冷却盘内设有冷却流道，冷却盘上表面设有外流道...
该专利属于无锡鑫磊精工科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡鑫磊精工科技有限公司授权不得商用。

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