【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于表面三维形貌测量相关，更具体地，涉及一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置及方法。
技术介绍
1、堆叠晶圆的层数很多，在高温高压等环境应力的影响下，晶圆都会产生一定的翘曲以及弯曲情况。长此以往，器件的性能会受到很大的影响。这时需要准确测量堆叠晶圆中各个晶圆表面形貌的变化以便实时掌握器件的变形情况，进而预测器件的性能寿命。而堆叠晶圆的间距一般为几微米到几毫米，常规的技术手段难以测量如此微小的间距。除了堆叠晶圆有目前的测量问题之外，堆叠金属片、激光加工的金属间隙、叠层材料等，凡是以微小间距堆叠的物体，都会有这个测量难题，所以需要一种高精度高效率的测量装置及表面形貌拟合方法解决堆叠片间隙的测量难题。
2、目前对于金属材料的间隙测量一般是探针放电测量方法，即依靠点击使外加直流电压的探针径向移动，当探针移向被测物体至发生放电为止，探针的行程与初始安装间隙之差即为间隙距离，此方法测量误差很大，测量范围小，且适用于金属等导电材料。而针对普遍广泛的在几微米到几毫米甚至更大范围的堆叠片间隙的纳米级测量，现有常规检测手段中...
【技术保护点】
1.一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置，其特征在于，该测量装置包括光源(1)、阵列掩模(2)、分光器(3)、反射镜(5)、多触头微反射镜(9)和相机(7)，其中，
2.如权利要求1所述的一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置，其特征在于，所述阵列掩模(2)的表面具有线性阵列的针孔，针孔阵列之间的距离和多触头微反射镜(9)的触头间距相对应。
3.如权利要求1或2所述的一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置，其特征在于，所述多触头微反射镜(9)包括基底(16)和设置在基底(16)上的多个触头(14)，所述基底(16)采用...
【技术特征摘要】
1.一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置，其特征在于，该测量装置包括光源(1)、阵列掩模(2)、分光器(3)、反射镜(5)、多触头微反射镜(9)和相机(7)，其中，
2.如权利要求1所述的一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置，其特征在于，所述阵列掩模(2)的表面具有线性阵列的针孔，针孔阵列之间的距离和多触头微反射镜(9)的触头间距相对应。
3.如权利要求1或2所述的一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置，其特征在于，所述多触头微反射镜(9)包括基底(16)和设置在基底(16)上的多个触头(14)，所述基底(16)采用透光材料，所述触头(14)的底面与所述基底(16)表面贴合。
4.如权利要求3所述的一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置，其特征在于，所述触头(14)为微型直角棱镜，该微型直角棱镜的斜边为微反射镜(17)，光线从所述基底(16)的侧面入射，从所述微型直角棱镜的直角边入射进入所述微反射镜(17)，经所述微反射镜(17)反射照射在待测堆叠片表面，经待测堆叠片表面反射后的反射光照射在所述微反射镜(17)上，然后原路返回。
5.如权利要求3所述的一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置，其特征在于，所述触头(14)为微型管道棱镜，该微型管道棱镜包括两条微型管道，两条管道的连接处呈直角斜面，该直角斜面为微反射镜(17)，光线从所述基底(16)的底面入射进入其中一条微型管道，经所述微反射镜(17)反射后进入另外一条管道，在另外一条管道中传播后到达待测堆...
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