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基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置及方法制造方法及图纸
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下载基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置及方法的技术资料
文档序号:40078002
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本发明属于表面三维形貌测量相关技术领域,并公开了一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置及方法。该测量装置包括光源、阵列掩模、分光器、反射镜、多触头微反射镜和相机,分光器设置在光源后方,阵列掩模设置在分光器和光源中间,反射镜和多触头微...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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