【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及工装夹具，特别涉及一种工件夹持装置和工件移送方法，特别适用于对平面光栅的夹持和移送。
技术介绍
1、目前激光干涉仪和光栅尺能够同时满足数百毫米的量程、亚纳米级分辨率以及纳米级精度的位移测量系统。但激光干涉仪的原理导致了其光程长，因此测量精度与重复精度受环境影响较大，稳定性难以提升。对比之下，光栅尺测量分系统对环境影响不敏感，并且具有测量精度高、运行速度快的特点得到广泛的研究与发展。
2、平面光栅尺制造的重点也是难点为光栅的制造及测试。平面光栅基板上具备微观结构的表面作为光栅面，搭配读数头实现位置测量功能；基板上光洁的表面作为粘接面，搭配光栅安装板实现高精度装配；上述两个面对于面型、粗糙度等均有极高的要求，在投入使用前必须进行面型、栅距等精密测试工作。光栅面型测试台是进行面型、栅距测试工作的精密机台，对平面光栅进行面型、栅距检测时需要将平面光栅从光栅储存工装中转移到面型测试台的工件台上。而光栅表面属于极端脆弱结构，严防触碰及污染，若不小心触及光栅表面，则会对测量系统产生不可预估的影响，因此要严格保证光栅转移过程的...
【技术保护点】
1.一种工件夹持装置，其特征在于，所述工件夹持装置包括集成框架和至少两个夹持卡具；
2.根据权利要求1所述的工件夹持装置，其特征在于，所述安装板上设置有锁定机构，所述凸轮转盘上设置有与所述锁定机构配合的锁紧槽孔和松开槽孔。
3.根据权利要求1所述的工件夹持装置，其特征在于，所述安装板靠近边缘的位置设置有导向组件，所述导向组件包括固定于所述安装板的固定块以及开设在所述固定块上的导向槽，所述夹持卡具穿设于所述导向槽中。
4.根据权利要求1所述的工件夹持装置，其特征在于，所述夹持卡具包括连接杆和夹紧支架，所述连接杆的一端配合所述凸轮转盘，...
【技术特征摘要】
1.一种工件夹持装置，其特征在于，所述工件夹持装置包括集成框架和至少两个夹持卡具；
2.根据权利要求1所述的工件夹持装置，其特征在于，所述安装板上设置有锁定机构，所述凸轮转盘上设置有与所述锁定机构配合的锁紧槽孔和松开槽孔。
3.根据权利要求1所述的工件夹持装置，其特征在于，所述安装板靠近边缘的位置设置有导向组件，所述导向组件包括固定于所述安装板的固定块以及开设在所述固定块上的导向槽，所述夹持卡具穿设于所述导向槽中。
4.根据权利要求1所述的工件夹持装置，其特征在于，所述夹持卡具包括连接杆和夹紧支架，所述连接杆的一端配合所述凸轮转盘，所述夹紧支架固定连接在所述连接杆的另一端，且所述夹紧支架的形状与所述工件的外形相适应。
5.根据权利要求4所述的工件夹持装置，其特征在于，所述连接杆与设置在所述安装板边缘的导向组件的固定块滑动配合，所述连接杆穿设于开设在所述固定块上的导向槽，所述连接杆与所述导向槽之间设置有限位结构，所述限位结构用于防止所述连接杆由其自身滑动方向以外的方向脱出所述导向槽。
【专利技术属性】
技术研发人员：孙展，杨月舳，康帅帅，石佩茹，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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