柔性压力传感器制备方法及柔性压力传感器技术

本发明专利技术实施例提供一种柔性压力传感器制备方法及柔性压力传感器，用于解决现有的将导电复合材料的制作与传感结构的设计相结合的技术方案存在精细微结构的传感单元制造工艺复杂、耗时的问题。该制备方法包括：在涂有热塑胶的第一柔性聚合物基片上涂覆导电复合油墨，烘干固化，得到具有格栅微结构凸起的传感膜层；在第二柔性聚合物基片上涂覆导电电子浆料，烘干固化，得到叉指电极层；将具有叉指电极层的第二柔性聚合物基片与具有传感膜层的第一柔性聚合物基片叠合并对齐，然后进行热压塑封，得到柔性压力传感器。该制备方法，采用工艺流程简单、通用、成熟的厚膜工艺与热压封装相结合，实现柔性压力传感器全自动化、规模化、低成本生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，尤其涉及一种柔性压力传感器制备方法及柔性压力传感器。

技术介绍

1、柔性压力传感器具有柔顺性好、体积小、重量轻、使用方便等优点，可广泛应用于电子皮肤、可穿戴设备、智能家居、机器人和人机交互设备等领域。

2、导电聚合物复合材料(conductive polymer composites，cpc)是一种将导电填料分散在聚合物基体中的材料，具有制备工艺简单、易改性和成本低的特点，是制作柔性传感器的常用材料。其工作原理是，在外力作用下，导电聚合物复合材料发生形变，导致导电填料的导电通路改变，从而可通过检测其电阻值的变化，确定其形变信息。但是，在测量绝对压力时，仅采用导电聚合物复合材料基础的柔性压力传感器存在灵敏度较低、响应时间长、一致性差等技术问题。

3、将导电复合材料的制作与传感结构的设计有机结合，是提高传感性能的一个可行技术方案。目前常用的传感结构设计方法包括：采用特定的光刻或砂纸模板构建单一表面微结构；采用激光蚀刻、花瓣模板等手段构建多尺度、多层次的表面微结构；采用3d打印与三维多孔模板制备均匀分级的多孔结构。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述在所述第一柔性聚合物基片上得到具有格栅微结构凸起的传感膜层是通过采用格栅处理技术的丝网印刷设备完成的。

3.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述第一柔性聚合物基片和所述第二柔性聚合物基片的材料为聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚氯乙烯(PVC)、聚酰亚胺(PI)、聚丙烯(PP)、聚碳酸酯(PC)、聚氨酯(PU)、环氧树脂(EPOXY)中的一种。

4.根据权利要求1-3任一项所述的柔性压力传感器的制备方法...

【技术特征摘要】

1.柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述在所述第一柔性聚合物基片上得到具有格栅微结构凸起的传感膜层是通过采用格栅处理技术的丝网印刷设备完成的。

3.根据权利要求1所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述第一柔性聚合物基片和所述第二柔性聚合物基片的材料为聚对苯二甲酸乙二酯(pet)、聚氯乙烯(pvc)、聚酰亚胺(pi)、聚丙烯(pp)、聚碳酸酯(pc)、聚氨酯(pu)、环氧树脂(epoxy)中的一种。

4.根据权利要求1-3任一项所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述在涂有热塑胶的第一柔性聚合物基片上涂覆含有导电填料的...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖瑶，张浩然，贺裕龙，李秋凡，孙萍，李贺，
申请(专利权)人：成都信息工程大学，
类型：发明
国别省市：