用于镀膜设备的热丝装置以及镀膜设备制造方法及图纸

本技术属于半导体技术领域，公开了一种用于镀膜设备的热丝装置以及镀膜设备。该用于镀膜设备的热丝装置包括热丝、第一导电组件以及第二导电组件，热丝包括主丝和两个副丝，主丝的一端连接一个副丝，主丝的另一端连接另一个副丝；主丝的两端均与第一导电组件连接，第一导电组件被配置为能单独对主丝供电加热；两个副丝远离主丝的一端均与第二导电组件连接，第二导电组件被配置为能同时对主丝以及两个副丝供电加热。热丝经过该用于镀膜设备的热丝装置处理后，主丝被提纯，结瘤游离到副丝上，再使用主丝，延长热丝的使用寿命。热丝设备，能够延长热丝的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，尤其涉及一种用于镀膜设备的热丝装置以及镀膜设备。

技术介绍

1、薄膜晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称hit或hjt或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，具有转换效率高、温度系数低等特点，转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。异质结太阳能电池核心制造工艺包括：利用化学气相沉积(cvd)工艺在表面织构化后的n型晶体硅的一面上沉积很薄的i型本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜，在另一面沉积薄的i型本征非晶硅薄膜和n型非晶硅薄膜。核心设备镀非晶硅薄膜cvd设备分为cat-cvd(热丝化学气相沉积)设备和pecvd(等离子体化学气相沉积)设备。

2、这些设备的核心元件为热丝。热丝作为对气体加热的制件，在长时间使用后，需要进行更换。影响热丝寿命的因素之一，包括了热丝的纯度。目前，使用的热丝大多数为钽丝，钽丝在加热过程中，对其表面严重熔化部位、微熔化部位以及正常表面部位进行能谱分析，结果表明：钽丝表面熔化最严重部位的铁含量非常高(55.21％)，而钽丝表面微熔化部位存在杂质铁，但铁含量略低一些(34.7本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，所述第一导电组件(20)包括两个第一电极(21)，一个所述第一电极(21)与所述主丝(11)的一端电连接，并用于电性连接正极；另一个所述第一电极(21)与所述主丝(11)的另一端电连接，并用于电性连接负极；

3.根据权利要求2所述的用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，所述用于镀膜设备的热丝装置还包括第一电路(60)；

4.根据权利要求2所述的用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，所述第二电极(31)包括：

5.根据权利要求4所述的用于镀...

【技术特征摘要】

1.用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，所述第一导电组件(20)包括两个第一电极(21)，一个所述第一电极(21)与所述主丝(11)的一端电连接，并用于电性连接正极；另一个所述第一电极(21)与所述主丝(11)的另一端电连接，并用于电性连接负极；

3.根据权利要求2所述的用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，所述用于镀膜设备的热丝装置还包括第一电路(60)；

4.根据权利要求2所述的用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，所述第二电极(31)包括：

5.根据权利要求4所述的用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，所述安装组件(312)的远离所述接线端子(311)的一端设置有热丝导向孔(31222)，所述热丝导向孔(31222)在所述安装组件(312)的远离所述接线端子(311)的端面和所述安装组件(312)的侧面均具有开口。

6.根据权利要求4所述的用于镀膜设备的热丝装置，其特征在于，所述压盖(313)包括第一压紧件(3131)和第二压紧件(3132)，所述第一压紧件(3131)和所述第二压紧件(3132)分别可拆卸地连接于至少部分所述安装组件(312)的两侧。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，张武，董雪迪，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：