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本技术属于半导体技术领域，公开了一种用于镀膜设备的热丝装置以及镀膜设备。该用于镀膜设备的热丝装置包括热丝、第一导电组件以及第二导电组件，热丝包括主丝和两个副丝，主丝的一端连接一个副丝，主丝的另一端连接另一个副丝；主丝的两端均与第一导电组件连...
该专利属于拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

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