【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学检测设备，特别涉及应用于一种白光扫描干涉测量的方法及装置、计算机程序产品。
技术介绍
1、相干扫描干涉(csi)是一种常见的测量物体表面高度的技术，它基于参考光与反射光的光程差为零时存在最大干涉强度的原理还原待测物体表面的形貌。另外白光具有高频宽的特点，因此干涉产生的波包较小，对比度较高，所以白光是最普遍采用的csi技术。
2、在发生干涉现象时，是同频率的光进行干涉。单色光是同频率的光发生干涉，其干涉条纹为单一颜色的条纹。而白光为复色光，所以白光中会出不同频率的光发生干涉。因而在白光干涉的光束中，干涉条纹的明暗变化并非均匀的，理想状况下(即光线强度不衰减)每过光源各波长组分的最小公倍数的距离，产生一个如图1所示的干涉波包。理论上，若是两个阶高间距离是一个各波长组分最小公倍数的距离时，光线接收端会收到两个一样的波包强度，但是由于显微镜物镜的景深较浅、这个各波长组分最小公倍数相对于物镜景深距离过大，所以基本不会发生扫描到两个不同阶干涉波包的问题。由于干涉现象只会在相同光程差的位置发生，控制参考面与待测面的相对位...
【技术保护点】
1.一种白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，所述针对待测物采集一组不同高度下的多通道干涉彩色图的步骤包括：
3.根据权利要求2所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，所述建立每个通道的每个测量位置的干涉曲线的步骤包括：
4.根据权利要求3所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，所述干涉曲线根据高度和所述像素点在不同测量位置的高度所对应的干涉图像中的干涉光信号强度绘制。
5.根据权利要求1所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，所述计算每个干涉曲线的...
【技术特征摘要】
1.一种白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，所述针对待测物采集一组不同高度下的多通道干涉彩色图的步骤包括：
3.根据权利要求2所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，所述建立每个通道的每个测量位置的干涉曲线的步骤包括：
4.根据权利要求3所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，所述干涉曲线根据高度和所述像素点在不同测量位置的高度所对应的干涉图像中的干涉光信号强度绘制。
5.根据权利要求1所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，所述计算每个干涉曲线的候选相干峰位置的步骤包括：对所述干涉曲线做平滑处理的步骤。
6.根据权利要求5所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征在于，还包括：对所述干涉曲线求极大值和极小值，通过所述极大值和所述极小值求振幅和周期振幅；
7.根据权利要求6所述的白光扫描干涉测量的方法，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：史其仕，倪赛健，唐毅成，
申请(专利权)人：匠岭科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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