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白光扫描干涉测量的方法及装置、计算机程序产品制造方法及图纸
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文档序号:40060351
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本发明公开了一种白光扫描干涉测量的方法及装置、计算机程序产品,其中,所述一种白光扫描干涉测量的方法,包括:针对待测物采集一组不同高度下的干涉图像;建立每个通道的每个测量位置的干涉曲线;计算每个干涉曲线的候选相干峰位置;组合所有通道的所述候选...
该专利属于匠岭科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过匠岭科技(上海)有限公司授权不得商用。
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