【技术实现步骤摘要】
本申请涉及多晶硅生产，特别是涉及一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统。
技术介绍
1、改良西门子法生产多晶硅工艺中，有着大量副产物的产生，据统计，每生产1吨多晶硅会产生1.6吨二氯二氢硅（dcs），18.3吨四氯化硅（stc）。通常采用反歧化工艺将这些副产物转化为三氯氢硅（tcs）。
2、三氯氢硅和氢气在还原炉中进行还原反应生成多晶硅，未参加反应的三氯氢硅、氢气与产生的副产物四氯化硅、二氯二氢硅一起进入尾气回收系统，经尾气回收系统回收分离后可以得到还原四氯化硅和还原二氯二氢硅，冶金硅和氯化氢在三氯氢硅合成器中合成三氯氢硅，合成产物三氯氢硅与产生的副产物四氯化硅、二氯二氢硅一起进入精馏系统进行提纯分离，经精馏系统提纯分离后可以得到氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅。多晶硅生产过程产生的四氯化硅主要为还原四氯化硅和氢化四氯化硅，多晶硅生产过程产生的二氯二氢硅主要为还原二氯二氢硅和氢化四氯化硅。
3、现有技术中，通常将还原四氯化硅、还原二氯二氢硅、氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅混合到一起并通入到反歧化器中进行反歧化反应，由于氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅纯度低、杂质（主要是硼、磷、碳）含量多，而还原四氯化硅和还原二氯二氢硅纯度高、杂质含量少，四种物料混合反歧化会导致原本纯净的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅被污染，从而无法提供纯净的反歧化原料（四氯化硅和二氯二氢硅）以得到纯度品质高的三氯氢硅，导致反歧化得到的三氯氢硅中杂质含量高且复杂、纯度低、品质差，不能满足生产太阳能级和电子级多晶硅的纯度品质要求。
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1、基于此，有必要针对现有技术中，将还原四氯化硅、还原二氯二氢硅、氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅混合到一起进行反歧化反应，无法提供纯净的反歧化原料以得到纯度品质高的三氯氢硅，导致反歧化得到的三氯氢硅中杂质含量高且复杂、纯度低、品质差，不能满足生产太阳能级和电子级多晶硅的纯度品质要求的问题。提供一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，能够解决现有技术中的上述问题。
2、一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，包括尾气回收系统、分离一塔、反歧化器、精馏系统、分离二塔和氢化系统，所述尾气回收系统的氯硅烷出口与所述分离一塔的进口相连，所述分离一塔的塔顶出口和所述分离一塔的塔底出口均与所述反歧化器的进口相连，所述反歧化器的出口与所述分离二塔的进口相连，且所述精馏系统的二硅出口与所述分离二塔的进口相连，所述分离二塔的塔顶出口与所述反歧化器的进口相连，所述分离二塔的塔底出口与所述氢化系统的进口相连，且所述精馏系统的四硅出口与所述氢化系统的进口相连，所述氢化系统的出口与所述精馏系统的进口相连。
3、优选地，上述一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统中，所述分离二塔的塔顶出口设置有第一除硼装置。
4、优选地，上述一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统中，所述精馏系统的四硅出口串联设置有除碳、磷装置。
5、优选地，上述一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统中，所述精馏系统的二硅出口设置有第二除硼装置。
6、优选地，上述一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统中，所述分离一塔的塔顶出口设置有氯化氢吸附器。
7、优选地，上述一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统中，所述尾气回收系统的氢气出口与氯化氢出口均与所述氢化系统的进口相连。
8、优选地，上述一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统中，还包括还原炉，所述还原炉的尾气出口与所述尾气回收系统的进口相连，所述精馏系统的三硅出口与所述还原炉的原料进口相连，和/或，所述分离一塔的塔侧出口与所述还原炉的原料进口相连，和/或，所述分离二塔的塔侧出口与所述还原炉的原料进口相连。
9、优选地，上述一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统中，所述分离一塔的塔顶出口还与所述还原炉的原料进口相连，和/或，所述分离二塔的塔顶出口还与所述还原炉的原料进口相连。
10、本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：
11、本申请实施例公开的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统中，能够实现多晶硅生产用三氯氢硅的供应，且能够将多晶硅生产过程中产生的二氯二氢硅和四氯化硅转化为三氯氢硅进行回用，避免浪费，具体地，将纯度较高的还原二氯二氢硅和还原四氯化硅在反歧化器中生成的三氯氢硅，避免无法提供纯净的反歧化原料以得到纯度品质高的三氯氢硅，将纯度较低的氢化四氯化硅直接通入到氢化系统，不进行反歧化，通过分离二塔对精馏系统得到的氢化二氯二氢硅进行精馏提纯，以将氢化二氯二氢硅中的碳杂质及磷杂质去除，得到纯度较高的氢化二氯二氢硅，然后再通入到反歧化器进行反歧化反应，避免纯度较低的氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅直接通入到反歧化器中而导致反歧化器被污染，且避免与纯度较高的还原二氯二氢硅和还原四氯化硅混合而导致纯度较高的还原二氯二氢硅和还原四氯化硅被污染，并通过分离二塔以对反歧化器的产物进行分离提纯，从分离二塔的塔侧出口采出的三氯氢硅纯度高、品质优，基本没有其他杂质，为高纯三氯氢硅，为多晶硅生产提供三氯氢硅，可以用于生产太阳能级的多晶硅，从而得到纯度高、品质高的三氯氢硅，从而避免反歧化得到的三氯氢硅中杂质含量高且复杂、纯度低、品质差，进而满足生产太阳能级和电子级多晶硅的纯度品质要求。
12、附图说明
13、图1为本申请实施例中公开的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统的示意图。
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1.一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，包括尾气回收系统（100）、分离一塔（200）、反歧化器（300）、精馏系统（400）、分离二塔（500）和氢化系统（600），所述尾气回收系统（100）的氯硅烷出口与所述分离一塔（200）的进口相连，所述分离一塔（200）的塔顶出口和所述分离一塔（200）的塔底出口均与所述反歧化器（300）的进口相连，所述反歧化器（300）的出口与所述分离二塔（500）的进口相连，且所述精馏系统（400）的二硅出口与所述分离二塔（500）的进口相连，所述分离二塔（500）的塔顶出口与所述反歧化器（300）的进口相连，所述分离二塔（500）的塔底出口与所述氢化系统（600）的进口相连，且所述精馏系统（400）的四硅出口与所述氢化系统（600）的进口相连，所述氢化系统（600）的出口与所述精馏系统（400）的进口相连。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，所述分离二塔（500）的塔顶出口设置有第一除硼装置（710）。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，所述精馏系统（400）的二硅出口设置有第二除硼装置（730）。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，所述分离一塔（200）的塔顶出口设置有氯化氢吸附器。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，所述尾气回收系统（100）的氢气出口与氯化氢出口均与所述氢化系统（600）的进口相连。
7.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，还包括还原炉，所述还原炉的尾气出口与所述尾气回收系统（100）的进口相连，所述精馏系统（400）的三硅出口与所述还原炉的原料进口相连，和/或，所述分离一塔（200）的塔侧出口与所述还原炉的原料进口相连，和/或，所述分离二塔（500）的塔侧出口与所述还原炉的原料进口相连。
8.根据权利要求7所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，所述分离一塔（200）的塔顶出口还与所述还原炉的原料进口相连，和/或，所述分离二塔（500）的塔顶出口还与所述还原炉的原料进口相连。
...【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，包括尾气回收系统（100）、分离一塔（200）、反歧化器（300）、精馏系统（400）、分离二塔（500）和氢化系统（600），所述尾气回收系统（100）的氯硅烷出口与所述分离一塔（200）的进口相连，所述分离一塔（200）的塔顶出口和所述分离一塔（200）的塔底出口均与所述反歧化器（300）的进口相连，所述反歧化器（300）的出口与所述分离二塔（500）的进口相连，且所述精馏系统（400）的二硅出口与所述分离二塔（500）的进口相连，所述分离二塔（500）的塔顶出口与所述反歧化器（300）的进口相连，所述分离二塔（500）的塔底出口与所述氢化系统（600）的进口相连，且所述精馏系统（400）的四硅出口与所述氢化系统（600）的进口相连，所述氢化系统（600）的出口与所述精馏系统（400）的进口相连。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，所述分离二塔（500）的塔顶出口设置有第一除硼装置（710）。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用三硅反歧化供给系统，其特征在于，所述精馏系统（400）的四硅出口串联设置有除碳、磷装...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨鹏，周迎春，李鹏鹏，李广，华根节，马俊霞，张杰，白永成，
申请(专利权)人：内蒙古润阳悦达新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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