声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备技术

本发明专利技术公开了一种声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备，其中，声电转换结构的制作方法包括：提供衬底，并在衬底的一侧制作第一绝缘层；在第一绝缘层上方制作阻尼结构层；在阻尼结构层背离衬底的一侧制作第二绝缘层；在第二绝缘层上方制作背极板层，并在背极板层刻蚀出在厚度方向上贯穿背极板层的声孔；在背极板层背离阻尼结构层的一侧制作第三绝缘层；在第三绝缘层上制作振膜层；对衬底进行刻蚀，以刻蚀出贯穿衬底的背腔；通过背腔处将部分第一绝缘层、部分第二绝缘层、部分第三绝缘层刻蚀掉，以得到声电转换结构。本发明专利技术所提供的技术方案既实现了声电转换结构的单指向性能，同时又保障了声电转换结构对声音拾取的一致性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及麦克风，尤其涉及一种声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备。

技术介绍

1、目前商用memes麦克风的最常用的是全指向型麦克风，该类型的麦克风声音是从单一声孔进入达到振膜，使得麦克风可以拾取任何角度的声音，即麦克风每个角度的灵敏度相同，但是这种麦克风对于特殊应用场合如ktv、会议等具有局限性。

2、为了解决上述的全指向型麦克风局限性，现有技术中虽然存在有一些对于单指向性能的方案，但是这些方案在实现单指向性能提升的时候，往往忽略了拾取声音的一致性，从而影响产品本身的性能以及用户的体验感。

技术实现思路

1、本专利技术提供了一种声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备，旨在有效解决现有技术中的单指向性能方案在实现单指向性能提升时，忽略拾取声音的一致性而影响产品本身的性能以及用户的体验感的技术问题。

2、根据本专利技术的第一方面，本专利技术提供一种声电转换结构的制作方法，包括：提供衬底，并在所述衬底的一侧制作第一绝缘层；在所述第一绝缘层上方制作阻尼结构层，所述阻尼本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种声电转换结构的制作方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

3.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

4.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

5.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

6.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

7.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

8.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

9.如权利要求8所述的声电...

【技术特征摘要】

1.一种声电转换结构的制作方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

3.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

4.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

5.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

6.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

7.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

8.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

9.如权利要求8所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

10.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

11.如权利要求1所述的声电转换结构的制作方法，其特征在于，

12.一种声电转换结构，其特征在于，包括以层叠方式设置的衬底（36）、阻尼结构层（37）、背极板层（33）以及振膜层（31）；

13.如权利要求12所述的声电转换结构，其特征在于，

14.如权利要求12所述的声电转换结构，其特征在于，

15.如权利要求12所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘青，张永强，
申请(专利权)人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：